판매용 중고 SVG 90 #293814154

SVG 90은 반도체 파운드리와 패브에 다양한 기능을 통합하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. Sensitive Imaging Technologies에서 개발 한 전체 기능의 고성능 포토 툴 플랫폼입니다. 90 시스템은 동급의 최신 포토레시스트 (photoresist) 유닛으로, 개발 및 생산 비용을 절감하고 강력한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. SVG 90 은 내장형 광/전기 제어 아키텍처를 채택하여 고급 (high-level) 기능 배치 및 균일 한 품질 제어를 지원합니다. 이 기계는 고급 레이저 광학 도구 (advanced laser-optical tools) 를 사용하여 자동화된 기능과 도량형 기능을 제공합니다. 이것 은 기계적, "레이저 '및 전기적 기계" 모듈' 의 결합 을 이용 하여 광석판 처리 공정 에서 최상 의 것 을 전달 함 으로써 달성 된다. 90 개의 도구는 필드 플랫 (field flattening) 광학 (optics) 과 같은 고급 광학을 장착하여 균일 한 광원 분포와 뛰어난 화질을 제공합니다. 카메라, 레이저 시스템, 자동 측정 시스템, 로봇 암 (arm) 은 처리량이 많은 정밀한 정렬 및 피쳐 배치를 제공합니다. 이 자산에는 3 차원에서 포토리스 트 높이를 측정 할 수있는 3 차원 매핑 기능도 있습니다. SVG 90은 뛰어난 성능으로 고해상도 저항 이미지를 생성 할 수있는 단일 웨이퍼 처리 모델입니다. 폴리-메틸-메타 크릴 레이트 (PMMA), 아세톤-용해 폴리-하이드 록시-알킬 에스테르 (PHE), 노볼 락 및 폴리 이미 드 레지스트와 같은 다양한 저항 유형을 제공한다. 이 소프트웨어는 다양한 설계 기능을 지원하므로, 고정밀 (high-precision) 생산 및 다중 노출 시퀀스를 사용할 수 있습니다. 90 은 여러 노출 시간, 스테이지 제어 메커니즘과 같은 변환 기능, 도형, 포토레지스트 (photoresist) 도량형, 내장 결함 검사 도구 등 다양한 지원 기능을 제공합니다. 이 장비는 또한 높은 반복성을 가지고 있으며, 이는 시간이 지남에 따라 제품의 일관성을 보장합니다. 요약하자면, SVG 90 포토레스 시스템은 반도체 제작을위한 신뢰할 수 있고, 비용 효율적인 턴키 솔루션입니다. 이 장치에는 통합 옵틱, 고급 레이저 옵틱, 자동 장애 감지 (Automated Fault Detection) 및 결함 검사 도구와 같은 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 90 은 복잡하고 민감한 집적회로를 위한 고밀도 (high-precision) 기능을 만들고 생산에 이상적인 제품입니다.