판매용 중고 SVG 90 #293747980

SVG 90
제조사
SVG
모델
90
ID: 293747980
Track systems.
SVG 90은 트랜지스터와 같은 반도체 장치의 제조에 사용되는 포토레스 (photoresist) 장비입니다. 실리콘, 니트라이드, 유리 및 실리콘-온-인슐레이터 (SOI) 기질을 포함하여 광범위한 기질에서 서브 미크론 기하학을 전달 할 수있는 음의 작동, 딥 -UV 화학적으로 증폭 된 광사 제스트입니다. 90 시스템은 주로 photoresist와 개발자의 두 구성 요소로 구성됩니다. 광전자는 자외선에 노출 될 때 굳어지는 빛에 민감한 액체 중합체 (light-sensitive, liquid polymer) 로 웨이퍼에 보호 마스크를 형성합니다. 개발자는 자외선 (UV light) 에 의해 노출되고 굳어진 후 광전물질을 용해하고 제거하는 데 사용되는 솔루션입니다. 시설 수준에서 SVG 90 장치는 여러 하위 시스템으로 구성됩니다. 여기에는 스테퍼 (photoresist 레이어에 이미징을 투영하는 데 사용), 베이크 머신 (photoresist를 증발시키는 데 사용), 처리 챔버 및 개발자 도구 (photoresist를 청소하는 데 사용) 가 포함됩니다. 90 개의 자산은 높은 수준의 정확성과 정확성이 필요합니다. 아미크론 (sub-micron) 형상을 만드는 능력은 물론, 고도의 깊이 제어를 제공하므로 반도체 소자 생산에 이상적입니다. 최적의 결과를 얻으려면 이러한 운영 프로토콜을 엄격히 따라야합니다. 예를 들어, 스테퍼 모델을 사용하려면 포토 마스크 (photomask) 와 웨이퍼 (wafer) 를 정밀하게 배치하고 정렬해야 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 추천 된 "베이크 '온도 를 고수 하는 것 도 중요 한데, 그것 은 사용 된 광전자 에 따라 다르다. 마지막으로, 현상기 (photoresist) 의 과잉 또는 과소 노출을 피하기 위해 현상기 장비를 신중하게 모니터링해야합니다. 전반적으로, SVG 90은 신뢰할 수 있고, 사용하기 쉬운 시스템으로, 다양한 반도체 장치를 생산하는 데 사용됩니다. 그 정밀성, 확장성, 다재다능성은 장치 제조업체들에게 대중적인 선택입니다.
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