판매용 중고 SVG 8832 #293667132

SVG 8832는 SVG Chemicals에서 개발 한 고성능 포토 esist 시스템입니다. 그것은 CMP (chemical-mechanical polishing) 저항의 한 유형으로, 평면 화 또는 상호 연결 연마, 낮은 k 유전층 등 반도체 제작 공정에 사용하기 위해 공식화된다. 화학은 가교 필름 (crosslinkable film) 으로 중합 된 기능성 에폭사이드 단량체 (epoxide monomer) 를 기반으로하며, 이어서 스핀 코트 시스템을 갖는 기질에 적용된다. 스핀 코팅 후, 필름은 자외선 (UV) 또는 가시광선 (visible light) 에 노출되어 중합 필름의 가교를 유발한다. 이를 통해 CMP 시스템에서 처리 할 때 저항을 선택적으로 제거할 수 있습니다. 8832는 해산 속도가 낮으며 CMP 슬러리에서 뛰어난 안정성을 나타냅니다. 또한 TSV (through-silicon) 응용에 특히 유익한 수축률이 낮습니다. SVG 8832 저항은 또한 구리 및 기타 금속에 대한 좋은 접착력을 갖추고 있으며, O2 및 H2 플라즈마 공정과 호환되므로, 빠르고 신뢰할 수있는 광택 후 치료가 가능합니다. 또한, 8832 저항은 환경 친화적이며, 햇빛에 노출 될 때 광 발광 성질이 낮고 휘발성이 낮기 때문에 안전하게 작동합니다. 이를 통해 건식 또는 습식 공정이 필요한 프로세스 단계에서 사용할 수 있습니다. 또한, 다양한 온도 범위 (temperature range) 에서 사용할 수 있으므로 다른 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 결론적으로, SVG 8832는 잘 둥근 포토 esist 시스템으로, 다양한 작업 환경과 완벽하게 호환되는 상태에서 CMP 프로세스의 우수성을 제공합니다. 낮은 수축률 (Shrinkage rate) 은 응용 프로그램을 통한 스루 실리콘 (through-silicon) 에 특히 적합하며, 낮은 용해 속도와 CMP 슬러리의 뛰어난 안정성은 다양한 화학 물질과 기질 보호 요구에 부합합니다.