판매용 중고 SVG 8800 #9307770

SVG 8800은 집적 회로 제작에 사용되는 포토 esist 시스템입니다. 반도체 장치 및 기타 전기, 기계 및 광전자 부품을 atterning 할 때 고해상도와 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 8800 은 습식 개발 공정 과 건식 "에치 '공정 을 모두 처리 할 수 있으며 직경 이 최대 8" 인치' 인 기질 을 처리 할 수 있다. 이 시스템에는 이미징 레이저 소스, 이미징 광학, 스캐너, 빔 프로파일러, 레이저 모션 컨트롤러 및 다양한 포토 esist 코팅 및 처리 챔버가 장착되어 있습니다. 이미징 레이저 소스 (Imaging Laser Source) 는 기판에서 포토 esist를 패턴화하는 데 필요한 광원을 제공합니다. 광물질 을 "레이저 '빛 에 효율적 으로 노출 시키기 위하여" 소오스' 로부터 방출되는 빛 을 필요 한 파장 과 강도 수준 으로 조정 한다. "이미징 '광학 은" 레이저' 원 에서 광저항 표면 으로 방출 되는 빛 에 초점 을 맞춘다. 이를 통해 photoresist 레이어의 정확한 패턴이 생성됩니다. 그런 다음, "스캐너 '는 집중 광선 을 사용 하여 기판 위 에 광미술사 를 무늬 시킨다. 빔 프로파일러는 레이저 빔의 빔 프로파일을 측정하는 데 사용됩니다. 이를 통해 광도 (light intensity) 를 미세하게 조정하고 사용자가 photoresist 레이어의 최적의 패턴화를 달성할 수 있습니다. "레이저 '동작" 컨트롤러' 는 생성 된 광선 "패턴 '이 최소 의 왜곡 을 가지고 있고 동시 에 정확 한 용량 분포 를 유지 하기 위하여 사용 된다. x, y, z 축을 따라 레이저 위치를 조정하면, 레이저 빔의 정렬 및 포커스를 조정하여 photoresist 레이어의 최적의 조명을 얻을 수 있습니다. 광전자 코팅 (photoresist coating) 과 처리 챔버 (processing chamber) 는 사용자가 그에 따라 광전물질을 코팅하고 개발 할 수 있도록 해줍니다. 이 챔버에는 스피너, 압력 선박, 분배 헤드 및 온도 조절 시스템이 장착되어 있습니다. 이들 모든 "시스템 '은 일제히 작동 하여 광전물질 이 최적 의 정의 와 층 두께 로" 코우팅' 되고 개발 된다. SVG 8800은 신뢰성이 높고 효율성이 높은 고급 포토리스 시스템입니다. 그것 은 "포토레시스트 '제작 의 모든 여러 가지 부면 을 고려 하여, 설계자 들 이 뛰어난 정확도 와 신뢰성 을 가진 장치 를" 패턴' 화 할 수 있게 해준다.