판매용 중고 SVG 8800 #9296280
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SVG 8800은 집적 회로 생산을 위해 설계된 차세대 포토레스 장비입니다. 이 시스템에는 고해상도 5축 갤보 장치 (galvo unit), 고급 석판화 장치 (advanced lithography), 화학적 증착 장치 (chemical deposition) 등 다양한 고급 기술이 장착되어 있어 높은 수율과 비용 절감을 제공하도록 나노메트릭스와 공동으로 설계되었습니다. 8800 코어는 고급 석판화 기술 (Advanced Lithography Technology) 인데, 이 기술은 초미세 이미지를 포토레스 레이어의 표면에 투영 할 수있는 광학을 기반으로합니다. 이를 통해 서브미크론 패턴을 웨이퍼로 정확하게 옮길 수 있으며, 노출 에너지에서 최소 왜곡 (500 mJ/cm2) 이 가능합니다. 이 고급 리소그래피 머신 (Advanced Lithography Machine) 은 또한 뛰어난 심도 (Depth of Field) 와 초점 제어 (Focus Control) 를 자랑하며, 최소한의 오류로 웨이퍼에서 포토리스 패턴 정밀 등록 및 위치를 지정할 수 있습니다. 반복 가능하고 안정적인 결과를 얻기 위해 SVG 8800에는 패턴 정렬 및 위치 지정을위한 5 축 galvo 도구가 포함되어 있습니다. 이 빠르고 정확한 자산은 설정 (setup) 시간과 비용을 절감하여 회로 기판 (circuit board) 을 생산하는 데 소요되는 시간을 단축할 수 있도록 설계되었습니다. 8800 은 또한 고효율 의 화학 증착 기술 을 포함 하여, 광물질 을 "기판 '으로 직접 전달 할 수 있다. 이 프로세스는 Si, GaAs, Al2O3 및 TaN을 포함한 다양한 기판 재료와 호환됩니다. 이 기술은 균일성, 뛰어난 결함 적용 범위 및 신뢰할 수있는 접착력을 제공합니다. 마지막으로, SVG 8800 은 고급 소프트웨어 모델에 의해 구동되며, 이를 통해 사용자는 photoresist 프로세스의 모든 측면을 신속하게 구성하고 관리할 수 있습니다. 이 종합적인 제어 장비는 프로세스 가시성 (Process Visibility) 및 모니터링 (Monitor) 기능을 비롯하여 높은 수준의 정밀도 및 작업 자동화를 가능하게 합니다. 또한 8800 은 자동화 기능을 통해 각 photoresist 작업에 대한 정확한 조건을 신속하게 구성, 최적화 및 검증할 수 있습니다. SVG 8800 시스템은 대용량 포토레시스트 (photoresist) 제작에 이상적인 솔루션으로, 높은 수율과 최대 가동 시간을 제공하는 효율적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고급 석판화, 고정밀 갈보 시스템, 첨단 증착 기술, 종합 소프트웨어를 결합함으로써, 8800은 모든 포토레지스트 (photoresist) 요구 사항에 최적의 솔루션을 제공합니다.
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