판매용 중고 SVG 8800 #9296253

제조사
SVG
모델
8800
ID: 9296253
웨이퍼 크기: 4"
(3) Coater / Developer system, 4".
SVG 8800 (SVG 8800) 은 매우 다양한 재료에서 매우 정밀한 미세 구조를 만드는 데 사용되는 고도의 포토 레스트 (photoresist) 장비입니다. 특수 자외선 광원 (special ultraviolet light source) 을 사용하여 복잡한 패턴과 구조를 불러올 때 사용할 수 있는 재료의 표면에 이미지를 생성합니다. 8800 은 필름 두께 및 패턴 해상도에서 서브 미크론 구역 (sub-micron zonal) 변형을 생성하여 광범위한 응용이 가능합니다. 시스템은 리소그래피 (lithography) 를 사용하여 재료 서피스에 이미지를 생성합니다. 초자연광원 (마이크로필드 발전기) 으로 시작해 3 차원 이미지를 만들어낸다. 이 이미지는 다이아몬드 코팅 노출 종에 투영됩니다. 노출 종에는 광도 감광제 (photoresist) 의 필름이 있는데, 이는 빛에 민감한 염료 역할을하고 자외선을 사진으로 변환합니다. 그런 다음 광저장술사 (photoresist) 는 레이저를 사용하여 스캔합니다. 이 레이저는 초보라색 이미지를 읽고 데이터를 파일에 저장합니다. 그런 다음 데이터를 사용하여 에칭 마스크 (etching mask) 를 생성합니다. 마지막으로, 재료는 마스크를 기반으로 매우 정확한 에칭을 위해 엑시머 레이저 (excimer laser) 에 노출됩니다. SVG 8800 장치는 다양한 패턴 해상도를 통해 매우 정확한 패턴과 텍스처를 만들 수 있습니다. 최대 균일성을 가진 20 나노 미터 (20 nanometer) 의 작은 기능이있는 패턴을 에치 할 수 있으며, 이는 MEMS (micro-electromechanical system) 및 나노 재료와 같은 응용 분야에 이상적입니다. 이 기계는 또한 패턴 요소 (pattern elements) 를 정확하게 배치할 수 있으므로 다양한 서피스에서 복잡한 모양을 쉽게 생성할 수 있습니다. 전반적으로, 8800은 복잡하고 정확한 미세 구조를 만들 수있는 놀라운 포토 레스트 도구입니다. 다이아몬드 코팅 (diamond-coated) 노출 종은 복잡한 모양과 높은 정밀도와 정확도가 필요한 기능에 이상적입니다. 다재다능한 기능으로 마이크로 전자 기계 시스템 (micro-electromechanical system) 과 나노 재료 (nanomaterials) 에서 산업 및 가전 제품 (industrial and consumer electronics) 에 이르기까지 광범위한 응용 분야가 가능합니다.
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