판매용 중고 SVG 8800 #9238269
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SVG 8800은 반도체 산업에서 생산용으로 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 공정 제어 (Process Control) 에 사용할 수 있는 고정밀 감광 요소를 생산하고, 전자 기기를 제작할 때 정확도를 높일 수 있습니다. 이 시스템은 최대 4 미크론 (micron) 의 복잡한 형상을 쉽게 패턴화하여 업계에서 가장 높은 품질 표준을 보장할 수 있습니다. 8800은 닫힌 루프 노출 장치를 통해 작동하여 일관성 있고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 기계 는 "렌즈 '," 필터', "렌즈 '및" 타원계' 의 복합적 배열 을 통하여 작동 하여 광도계 가 빛 에 노출 되도록 정확 히 제어 한다. 이를 통해 드라이 필름 (dry film), 사진 이미지 가능 레이어 또는 이 두 가지의 조합과의 호환성이 향상됩니다. 이 과정은 웨이퍼의 포토 esist 응용 프로그램으로 시작됩니다. 정밀 한 "패턴 '을 기계 에" 프로그램' 한 다음, 그 광물질 이 미리 정해진 파장 의 빛 에 노출 되는 노출 "챔버 '로 옮긴다. 그런 다음 "렌즈 '," 필터' 및 "렌즈 '가" 타원계' 로 감지 할 수 있는 필요 한 강도 에 도달 할 때 까지 이 빛 을 처리 한다. 그 다음, 이것 은 어느 정도 의 저항력 이 노출 되는지를 측정 하는 데 사용 되며, "포토레지스트 '가 치료 되는 데 얼마나 걸리는지를 측정 하는 데 사용 된다. 노출이 완료되면, 기계는 개발자/인젝터 설정 (developer/injector setup) 에 의해 노출이 처리되는 개발 챔버로 이동합니다. '클로즈드 루프 (closed-loop)' 툴로, 노출 및 개발 단계에 관련된 다양한 구성요소로부터 정보를 수집하여 최고의 정확성과 일관성을 보장합니다. 일단 개발자 가 "에셋 '에 첨가 되면," 와퍼' 에 원하는 "패턴 '을 드러내기 위하여" 포토레지스트' 를 씻어야 한다. 가장 까다로운 응용프로그램의 경우, SVG 8800 은 노출 (exposure) 및 개발 (development) 프로세스가 남긴 거친 가장자리를 매끄럽게 하고 구체화할 수 있는 고급 후처리 기능을 제공합니다. 이 피쳐는 전통적인 사진 (photolithography) 프로세스에서는 불가능한 보다 복잡한 형상을 생성하는 데 특히 유용합니다. 8800 은 모든 구성 요구 사항을 충족하는 빠르고 안정적인 솔루션입니다. 기존 프로세스보다 빠른 속도와 정확성을 제공하여, 품질과 정밀도를 높일 수 있습니다. 사용이 간편한 컨트롤과 사용자 친화적 인터페이스 (User Friendly Interface) 를 갖춘 이 모델은 모든 반도체 제작 프로세스에 적합합니다.
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