판매용 중고 SVG 8800 #9094408

SVG 8800은 포토 리토 그래피와 집적 회로 (IC) 에칭 모두에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 폴리머, 유기, 금속 및 복합 재료와 같은 재료를 처리하기위한 다용도 도구입니다. 고급 사진 사진 촬영 시스템으로서, 8800 은 고급 프로세스 요구 사항 및 매우 정밀한 Critical Device 제작에 사용됩니다. SVG 8800은 침수 스캐너, 빔 소스, 디지털 패턴 생성기, 이미지 캡처 또는 향상된 광학 구성으로 구성됩니다. 침수 스캐너는 IC 해결을 최대 50 nm까지 지원할 수있는 다양한 스캔 필드를 제공합니다. 공정 위도를 높이기 위해 1.35의 높은 숫자 조리개 (NA) 와 특별히 설계된 마스크 플레이트를 사용합니다. 빔 소스는 펄스 엑시머 레이저, 빔 쉐이핑 유닛 및 532nm 파장에서 방출되는 주파수 2 배 Nd: YVO4 레이저로 구성됩니다. 파장, 초점, 펄스 에너지 (pulse energy) 를 선택하여 광 마스크 (photomask) 를 높은 심도로 정확하게 노출시킵니다. 디지털 패턴 생성기 (digital pattern generator) 는 회로 설계 응용 프로그램 데이터를 빔 소스에 필요한 정확한 인쇄 매개변수로 정확하게 변환하는 자동화된 기계입니다. 이를 통해 기판 노출이 다양한 재료 및 프로세스에 최적화 될 수 있습니다. 이미지 캡처 및 향상된 optics 구성은 인쇄 전후에 기판에서 고해상도 이미지를 캡처합니다. 또한 CTL (pattern critical to layer) 측정, 스티치 측정 및 채널 특성을 수행합니다. 요약하자면, 8800 은 처리 및 이미징을 모두 위한 탁월한 성능을 제공하는 고급 사진 분석 도구입니다. 여기에는 더 높은 수치 조리개, 펄스 에너지 제어, 자동 패턴 생성기, 고해상도 이미지 캡처 등 다양한 기능이 있습니다. 이를 결합하여 최대 50 nm 해상도의 IC 제조를 위한 정밀 처리를 제공 할 수 있습니다.