판매용 중고 SVG 8800 #293619532
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SVG 8800 Photoresist Equipment는 고정밀 리소그래피를 제공하기 위해 제작 된 최첨단 시스템입니다. 이 장치는 강력한 레이저 머신과 Direct-Drive x/y 포지셔닝 단계로 구성되어 있어 최고의 정확성과 응답성을 보장합니다. 이 도구는 0.1 um 반복 가능으로 크기가 20 nm까지 정확한 균일 한 패턴을 자동으로 쓸 수 있습니다. "레이저 '는 355nm 에서 532nm 사이 의 어떤 파장 이라도 맞출 수 있으므로, 다양 한" 포토레지스트' 기질 을 개발 할 때 는 대단 히 융통성 이 있다. 자산의 전동 단계, 마이크로 포지셔너 및 고정밀 옵틱은 매우 안정적이고 정확한 플랫폼을 제공하여 반복 가능하고 일관된 측정이 가능합니다. 이 모델은 일관성 있는 밀도로 패턴을 자동으로 노출시키고, 정확하고 반복 가능한 결과와 함께 임의로 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다 (영문). 이것은 다른 기질로 바뀔 때에도 photoresist의 일관된 패턴을 가능하게합니다. 장비에는 기판을 고정하고 열 이동을 최소화하기 위해 진공 척 (vacuum chuck) 이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 또한 비디오 모니터링, 측정 기능 등 다양한 고해상도 디지털 비디오 (digital video) 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능은 사용자가 노출 과정에서 패턴의 상태와 위치를 모니터링하고, 정확성과 균일성을 보장하는 데 도움이 됩니다 (영문). 또한 8800 은 강력한 이미지 분석 패키지 (image analysis package) 를 제공하므로 결과를 자세히 분석하여 정확성을 보장할 수 있습니다. 이 장치에는 설치 및 사용 편이성을 위해 다양한 사용자 친화적 (user-friendly) 기능이 있습니다. 예를 들어, 프로그래밍 가능한 세트 포인트 (set point) 를 통해 사용자는 특정 사용 시나리오를 쉽게 사용자 정의할 수 있으며 리소그래피 정리, 저항화 (resistification), 건식 저항제 제작 (dry resist fabrication) 과 같은 포스트 프로세스 기능에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 또한 통합 사용자 인터페이스 (Integrated User Interface) 를 통해 저장된 패턴을 손쉽게 생성, 저장, 편집할 수 있습니다. SVG 8800 Photoresist Asset은 photolithography 사용자를 위해 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 정밀도 (Precision) 와 정확도 (Accuracy) 의 조합과 사용자 친화적 인 기능으로 인해 실험실에서 귀중한 자산이 될 수 있습니다.
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