판매용 중고 SVG 8800 #1220

SVG 8800 Photoresist Equipment는 EUV (Extreme Ultraviolet) 리소그래피에 사용되는 석판 도구입니다. 이 시스템은 정확하고, 효율적이며, 비용 효율적이며, 낮은 비용으로 처리량을 제공합니다. EUV 조명으로 리소그래픽 프로세스에서 고급 패턴화 기능을 생성 할 수 있습니다. 이 장치에는 스캔 (Scan) 및 스테퍼 (Stepper) 모듈이 포함되어 있으며, 이 모듈은 시간과 비용을 줄이면서 정밀한 정확도로 웨이퍼에 고해상도 기능을 생성할 수 있습니다. 초고속 스캔 (scan-fast scan) 및 스테퍼 (stepper) 메커니즘으로 광범위한 광 전원 수준을 처리할 수 있습니다. 이 기계의 가장 혁신적인 기능 중 하나는 고급 멀티 레이어 필름 증착 모듈 (advanced multi-layer film deposition module) 인데, 이를 통해 웨이퍼 표면에 마이크로 스케일 기능을 생성할 수 있습니다. 다중 레이어 배치 도구는 더 정확한 패턴화를 위해 재료 레이어의 정확한 두께를 만듭니다. 에셋은 또한 초박막 증착이 가능하며, 이는 작은 기능 크기의 패턴을 만들 수 있습니다. 8800 은 모델의 스캔 (scan) 및 스테퍼 (stepper) 측면 외에도 기판 준비 단계와 청소실 환경도 포함한다. 기판 준비 단계 는 "레지스트 '및" 코우팅' 용 기질 을 청소 하고 화학 처리 하는 데 사용 되고, 청소 환경 은 석판 노출 을 위한 통제 된 환경 을 제공 한다. 이것은 리소그래픽 프로세스에서 중요한 단계이며, 최고 품질의 EUV 패턴화 (patterning) 결과를 확인하는 데 도움이됩니다. SVG 8800 Photoresist Equipment에는 높은 정확도 정렬 서비스도 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 시스템 스테이지에서 "웨이퍼 '와 기판을 빠르고 정확하게 배치할 수 있습니다. 이 장치에는 기계가 만든 패턴의 정확성을 측정하고 검증하는 고급 검사 시스템 (advanced inspection systems) 도 포함되어 있습니다. 전체적으로 8800 Photoresist Tool은 EUV 프로세스를 위해 강력하고 효율적인 석판 도구입니다. 광범위한 어플리케이션을 통해 정확하고 경제적인 리소그래피 (lithography) 를 제공하며 고품질 결과를 얻을 수 있는 높은 처리량을 제공합니다. 자산의 기판 준비 (Substrate Preparation) 및 청소 환경 (Cleanroom Environment) 은 고품질 패턴화를 보장하며, 정렬 및 검사 서비스는 생성된 패턴의 정확성과 무결성을 유지하는 데 도움이됩니다.