판매용 중고 SVG 88 #293770159

제조사
SVG
모델
88
ID: 293770159
System.
SVG 88은 SVG 리소그래피의 최첨단 포토 esist 장비입니다. 집적 회로 및 기타 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 부품의 제조에 사용되도록 설계된 고정밀 석판화 도구입니다. 이 시스템은 고효율 광학 조명 장치 (optical lumination unit), 석판 렌즈 (lithographic lens) 및 포토 esist 통합을 포함한 다양한 구성 요소로 구성됩니다. 이 기계는 독자적이고 최적화된 UV 조명기 (illuminator) 를 사용하며, 넓은 스펙트럼 광원을 사용하여 집적 회로의 원하는 설계에 맞게 조정합니다. 이 고품질 UV 소스는 전체 칩 필드 (chip field) 를 매우 균일한 용량으로 균일한 커버리지를 제공하여 나노미터 (nanometer) 스케일에서 정확한 제어 및 해상도를 허용합니다. 프로세서는 또한 고급 도량형과 통합되어 레티클 왜곡 (reticle distortion) 과 전압 및 온도 변화를 측정합니다. 88 코어는 리소그래픽 렌즈로, 최적의 제작 결과를 얻기 위해 설계되었습니다. "렌즈 '는 정교 한 광학" 디자인' 을 이용 하여 뛰어난 화질 을 얻어 오늘날 최고 의 해상도 의 전력 을 얻을 수 있게 해 준다. 또한 정교한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 가 포함되어 있어 매우 정밀하게 여러 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수 있습니다. SVG 88에 통합 된 포토 esist 도구는 고급 마이크로 일렉트로닉 처리에 필요한 고해상도 패턴을 제공합니다. 자외선 (UV) 및 기타 "에너지 '원 에 대한 극히 제어 할 수 있는 균일 한 노출 은 정밀 한 무늬 를 만들어 주며, 게이트 높이 (gate height) 와 피쳐 크기 (feature size) 와 같은 중요 프로세스 매개변수 를 엄청나게 제어 할 수 있게 해 준다. SVG 리소그래피 시스템은 뛰어난 처리 안정성을 제공합니다. 신뢰할 수 있는 노출 프로세스를 통해 단일 웨이퍼 (wafer) 에서 복잡한 패턴을 효율적으로 생산하여 사이클링 시간 (cycling time) 과 설치 비용을 줄일 수 있습니다. 이 자산은 또한 결함이 최소화되면서 뛰어난 프로세스 안정성을 제공합니다. 요약하자면, 88 개의 포토레시스트 (photoresist) 모델은 집적 회로 및 기타 복잡한 마이크로 일렉트로닉 구성 요소를 정확하고 신뢰할 수 있도록 설계된 고도의 석판화 도구입니다. 정교한 광학 디자인과 신뢰할 수있는 포토레시스트 (photoresist) 공정은 뛰어난 해상도와 최소 결함으로 뛰어난 제작 결과를 제공합니다. 이 장비의 최첨단 기술은 모든 microelectronic 생산 응용 프로그램에서 가능한 최고 수율을 보장합니다.
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