판매용 중고 SVG 88 Series #9192887
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ID: 9192887
Single track coater
Configuration:
Empty space for 2nd track
Send- Coa t-HPO-Receive
System cabinet:
Footprint:
Coat system: 42" Deep X 60" Wide X 38" High (with out CP)
Coat system: 42" Deep X 72" Wide X 38" High (with CP)
System frame:
Internal frame: Standard powder coated black
External panels: Stainless steel
Wafer type: Silicon
Wafer size: 3" Wafer round with flats
Wafer flow: Left to right
Rear of system bulkhead fittings and facility connections for:
Process chemicals: Photoresist, EBR solvents
Process gasses: Clean dry air, nitrogen
Process exhaust
Teflon insulated mainframe wiring
Process chemical dispense lines:
PFA or FEP - Photoresist
SVG Style card cage keypad and display with SVG software control:
Z80 Microprocessor control
(9) Events per program
Times variable from 0. to 99.0 sec. in 0.1 sec
Machine diagnostics: Machine and sensor status
System capable of processing wafers:
Automatic
Single or manual modes
Independent microprocessor control for each track
Automated transfer arm system for module to module wafer transfer
Emergency stop access front of system
Power junction box: 208V, 60Hz, 25A.
SVG 88 시리즈 (SVG 88 Series) 는 기판의 미리 정해진 영역을 반응성 물질에 노출되지 않도록 보호하는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 광원, 감광 코팅 및 마스크 플레이트로 구성됩니다. 광원은 일반적으로 레이저 또는 플래시 램프 인 반면, 감광 코팅은 광 민감성 폴리머 (light-sensitive polymer) 입니다. 광원 에 노출 되면, 감광 "폴리머 '가 반응 하여 불투명 하게 되어" 포토레지스트' 의 불투명 한 층 을 형성 한다. 이 층 은 "마스크 '역할 을 하며, 기판 의 영역 을 반응성 물질 로부터 차폐 시킨다. 일반적으로, 마스크 플레이트는 기판과 광원 사이에 배치됩니다. "마스크 '판 에 보호 해야 할 영역 의" 패턴' 을 "마스크 '판 에 새겨 넣어," 마스크' 판 에 패턴 이 있는 곳 에만 빛 이 기본 감광 도장 층 으로 통과 할 수 있게 한다. 이것 은 감광 "코우팅 '을" 마스크' 판 에 무늬 가 있는 곳 에만 빛 에 노출 시키며, 그 결과 감광 "코우팅 '의 부분 이 불투명 해지고" 포토레지스트' 층 이 형성 된다. 88 Series 시스템은 일관되고, 세밀하며, 정확하게 패턴화 된 포토 esist 레이어를 제공하도록 설계되었습니다. 이 광전물질 층 (layer of photoresist) 은 반응성 물질 (예: etchant) 이나 다른 유형의 반응성 용액 (reactive solution) 에 노출 될 때 기질을 손상으로부터 선택적으로 보호하는 데 사용됩니다. 이를 통해 기술자는 이 장치를 사용하여 기판의 특정 영역을 보호할 수 있으며, 제조 (fabrication) 프로세스에 대한 세부적인 제어 및 정확성을 제공합니다. SVG 88 Series 머신은 금속, 유리, 플라스틱 또는 세라믹과 같은 다양한 유형의 기판과 함께 사용할 수 있습니다. 또한 집적 회로, 나노 기술 장치, 기타 최첨단 재료 및 공정의 제작에 유용한 것으로 입증되었습니다. 광원 은 사용 되는 물질 의 종류 에 따라, 노출 의 "에너지 '수준," 에너지' 수준 및 지속 시간 을 조정 하는 능력 을 가지고 있으며, 이것 을 통해 광전자 층 내 의 세부적 인 조절 과 정밀도 를 얻을 수 있다. 88 시리즈 (88 Series) 는 포토레시스트 (photoresist) 레이어를 생성하기 위한 정확하고 정확한 도구로서, 다양한 재료와 컴포넌트를 제작하는 데 귀중한 도구입니다. 정합성 있고 정확 하게 무늬 가 된 광저항 층 을 제공 함 으로써, "기판 '의 정해진 영역 이 파괴적 인" 반응성 물질' 에 노출 되지 않도록 보호 할 수 있으므로, 제조 과정 에서 더 큰 정확도 와 제어 를 제공 할 수 있다.
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