판매용 중고 SVG 8632 #9396691

SVG 8632는 광학 리소그래피 프로세스, 특히 28nm 이미징 및 세밀화에 사용되는 포토 esist 시스템입니다. 그것은 긍정적 인 톤 이미지, 직접 쓰기 독점 유기 솔 겔 저항과 용제 기반 양성 톤 개발자로 구성됩니다. 저항의 광활성 성분은 EUV 및 딥 -UV 방사선 (Deep-UV radiation) 의 존재에서 강력하며, 저항은 세밀한 해상도를 위해 매우 짧은 파장 방사선에 노출 될 수있다. 저항 자체는 비 이온 폴리머 (non-ionic polymer) 와 헤테로시 클릭 (heterocyclic triderivative) 으로 구성되며 웨이퍼에 코팅 될 때 고품질 이미지 패턴을 형성 할 수 있습니다. 보다 전통적인 산 촉매 저항의 대부분은 큰 분자 종 (large molecular species) 또는 이산화물 (dioxides) 과 같은 특정 오염 물질 종에 대한 저항력이 제한적이다. 그러나 8632의 솔-겔 저항 (sol-gel resist) 은 그러한 오염 물질에 매우 저항하여 저항이 내구성이 높고 뛰어난 영상 특성을 가능하게합니다. 저항 SVG 8632 개발자를 개발하는 데 사용됩니다. 그것은 유기 아민 화합물 (organic amine compound) 을 기반으로하며, 한때 활성화되면 솔-겔 (sol-gel) 노출 저항 부위에 작용하여 노출 된 부품을 제거하고 노출되지 않은 부위를 남길 수있다. 이 과정 을 통해 "웨이퍼 '의 훌륭 하고 정확 한 무늬 를 형성 할 수 있었다. 8632 (8632) 는 고해상도 프로세스를 염두에 두고 설계된 탁월한 저항 시스템입니다. 독특한 sol-gel 저항 구성은 기능 크기를 28 nm 이상으로, 일반 석판 저항보다 훨씬 더 민감하고 정확한 이미징을 가능하게합니다. 또한, 대기 및 오염 물질 오염에 대한 견고성은 저항을 내구성이 높고, 대량 생산에 적합하게 만듭니다.