판매용 중고 SVG 8626 #293825861

SVG 8626 은 고급 고해상도 포토레시스트 (photoresist) 장비로 집적회로· 반도체 생산에 사용된다. 광전자기술 (photolithography technology) 을 활용해 특화된 마스크에서 실리콘 기판으로 패턴을 옮긴다. 이 photoresist 시스템은 고해상도와 반복 가능한 프로세스 정확성이 필요한 응용 프로그램을 위해 특별히 설계되었습니다. 8626 장치는 광학-기계식 마스크 정렬기, 포토 esist 프로세서, 포토 마스크 및 컴퓨터 인터페이스를 포함한 다른 구성 요소로 구성됩니다. 마스크 정렬기 (mask aligner) 는 기판에 포토 마스크 (photomask) 를 배치하는 데 사용되며, 이어서 고 동력 UV 광원에 노출된다. "마스크 '로부터의" 이미지' 가 기판 에 노출 되고 노출 된 영역 이 개발 되어, 노출 된 기질 의 표면 에서 "포토레지스트 '를 제거 한다. photoresist 프로세서는 photoresist를 기판에 배치하고 분배하는 데 사용되는 SVG 8626의 특정 모듈입니다. 이 "프로세서 '는 광소시스트' 층 의 균일성 과 두께 를 정확 하게 제어 할 수 있으며, 또한 잔여 물질 의 축적 을 줄이기 위하여 기판 의 노출 된 부위 를" 스핀코우트 '하는 데 사용 할 수 있다. 이 기계에 사용 된 포토 마스크 (photomask) 는 특수 석영 유리로 구성되며 마모를 줄이기 위해 표면에 보호 코팅이 특징입니다. 마스크의 이미지는 복잡한 기하학적 패턴 (geometric pattern) 의 형태를 취하며, 여러 개별 층의 금속 및 기타 재료로 구성됩니다. 8626 은 미리 교정된 프로그램, 소프트웨어 제어 (software control) 노출 조명, 마스크를 기판에 정밀하게 정렬하는 등 다양한 정교한 안전 및 제어 기능을 갖추고 있습니다. 또한 임의의 구성 요소가 필요한 안전 요구 사항을 충족하지 못하면 자산 (asset) 을 자동으로 종료하는 통합 연동 (interlock) 툴이 있습니다. 전반적으로, SVG 8626은 뛰어난 해상도와 반복 가능한 공정 정확도를 제공하는, 매우 고급적이고 신뢰할 수있는 포토 esist 모델입니다. 이 장비에 통합된 정교한 안전 및 제어 (Safety and Control) 기능을 통해 프로세스를 일관되고 안정적으로 유지할 수 있습니다.