판매용 중고 SVG 8600 Series #9294223

ID: 9294223
Coater / Developer / Scrubber track system.
SVG 8600 시리즈 (SVG 8600 Series) 는 패턴화 프로세스를 최적화하기 위해 개발 된 고급 에너지 기술로 구성된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 고해상도 포토레스 이미징 (photoresist imaging) 을 제공하며 다양한 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 8600 시리즈 시스템은 고급 레이저 유도 및 필름 이미징 기술을 사용하여 정확도와 투명도가 가장 높은 나노 스케일 (nanoscale) 패턴을 형성합니다. 사용자는 대화형 LCD 터치스크린을 통해 설정을 빠르고 쉽게 조정하고 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다 (영문). 이 장치는 고속, 다중 축 기판 회전 목마를 사용하여 폭이 5mm ~ 150mm 인 기판에서 빠른 처리량을 달성합니다. 또한, 스테퍼 모터 구동 빠른 초점 조정이 특징이며, 정확하고 반복 가능한 처리가 가능합니다. SVG 8600 시리즈는 다양한 photoresist 재료 및 기판과 함께 사용하도록 설계되었습니다. 광범위한 저항 두께 (Resist Thickness) 중에서 선택할 수 있으며, 0.2 ½ m까지 일관된 해상도를 제공하는 신속한 노출 매개변수를 제공합니다. 파장 범용성은 UV-VIS 스펙트럼에 걸친 패턴 정밀도를 제공하며, 강력한 디자인은 최대 200W 텅스텐 할로겐 조명기를 수용합니다. 훌륭 한 "이미징 '과 노출 외 에도, 이러 한 형태 의 감광기 는 견고 한 안전 기능 을 요한다. 8600 시리즈에는 노바 쿠움 기판 노출, 안전한 레이저 작동 및 정확한 저항 증착 및 개발자 혼합을위한 투여 시스템이 포함되어 있습니다. 이 포토리스 (photoresist) 도구는 또한 레이저 안전 보호 인터 록 (interlock) 을 갖추고 있으며, 비정상적인 조사가 감지 될 때 안전 시스템을 모니터링하고 활성화합니다. SVG 8600 시리즈는 고급 패턴화 프로세스에 사용되는 데 이상적인 효율적인 photoresist 자산입니다. 이 모델은 인터랙티브 스크린, 빠른 초점 조정, 다양한 기판, 재료, 저항성 두께 등 최고의 정확성과 투명성을 제공합니다. 레이저 유도 및 필름 이미징 기술을 활용하여, 8600 시리즈는 더 일관되고 안정적인 제품의 패턴 오류 (patterning error) 를 최소화합니다.
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