판매용 중고 SVG 8600 Series #9266232
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ID: 9266232
웨이퍼 크기: 4"
Coater / Developer system, 4"
Dual inputs
(3) 8600 Series controllers
Single coat module (No cup)
Single hot plate
Single cool plate
Single receive indexer
Dual send indexers
Resist canister
No pump.
SVG 8600 시리즈는 박막 회로 제조를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 게이트, 접촉, 경유, 확산 레이어 등의 해상도 크리티컬 레이어에 뛰어난 패턴화 성능을 제공합니다. 경제적이고, 낮은 유지 관리 시스템은 신뢰할 수 있는 고성능 포토레지스트 (photoresist) 장치를 필요로 하는 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 업체에 적합합니다. 이 기계는 뛰어난 패턴화 정확도를 위해 고해상도, 원통형 스캔 헤드 및 스마트 마스크 알고리즘을 갖추고 있습니다. 또한 printarea 전체에서 일관된 노출을 보장하기 위해 고급 노출 제어 (Exposure Control) 툴이 있습니다. 8600 시리즈의 경우, 레이어는 0.7 "m '및 40" m' 의 해상도로 패턴 화 될 수 있습니다. 또한 일반, 교차 및 여러 모양 피쳐를 포함한 다양한 필름 모양을 수용합니다. 에셋은 사용자 친화적으로 설계되었으며, 실시간 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 쿼츠 이동 및 노출 설정을 편리하게 구성할 수 있습니다. SVG 8600 시리즈는 다양한 포토 esist에 최적화되었습니다. 표준 양성 및 음성 광사 화학과 2 층 노출이 필요한 화학을 처리하도록 설계되었습니다. 365nm ~ 450nm 범위의 노출 파장에서 작동 할 수 있으며, 광범위한 포토 esist chemistries와의 호환성을 보장합니다. 효율적이고 안정적인 8600 시리즈 포토레스 (photoresist) 모델은 다양한 회로 제작 응용 프로그램에 최적의 솔루션을 제공합니다. 탁월한 패턴화 성능 및 사용자 친화적 운영을 제공함으로써, 탁월한 비용 및 시간 효율성을 제공하므로 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 를 위한 최적의 선택입니다.
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