판매용 중고 SVG 8600 / 8800 Series #9189849

SVG 8600/8800 시리즈 포토 esist 시스템은 반도체 제조에 사용되는 고해상도, 산업 등급, 완전 자동화 웨이퍼 제작 도구입니다. 이 장비는 고품질, 고해상도 포토리스토그래피 (photolithography) 를 만들려는 목적으로 장치 웨이퍼의 포토레시스트 레이어를 이미지, 개발, 에치하도록 설계되었습니다. 8600/8800 시리즈는 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 에치 챔버와 젖은 벤치. 에치 챔버 (etch chamber) 는 포토 esist 이미징 및 에칭 프로세스를 수행하는 반면, 습식 벤치는 포토 esist 스트립 및 클리닝과 같은 에치 후 프로세스를 처리합니다. 이 시스템은 에치 챔버 (etch chamber) 에서 습식 벤치 (wet bench) 로 웨이퍼 (wafer) 를 빠르게 전송할 수 있으며, 이 기능을 통해 운영자는 제조 과정의 여러 단계에서 여러 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 처리 할 수 있습니다. 8600/8800 은 여러 가지 고급 기능을 통해 원활한 운영과 일관된 결과를 보장합니다. 여기에는 고급 옵틱 (optic) 과 레이저 기술을 활용하여 웨이퍼에 회로 패턴을 정확하게 캡처하는 최첨단 레이저 스캐너 모듈이 포함됩니다. 또한, 이 장치는 고급 알고리즘과 높은 처리량을 통해 정밀도로 복잡한 경로를 처리 할 수 있습니다. 혁신적인 "다중 계층 기능" 을 통해 8600/8800 은 여러 장치 계층을 동시에 이미지와 에치 (etch) 할 수 있으므로 고품질 제품을 만드는 동시에 효율성을 높일 수 있습니다. SVG 8600/8800 시리즈는 효율적이고 유연한 운영 옵션을 제공합니다. 완벽한 프로그래밍 기능을 통해 사용자는 프로토 타입 (prototype) 과 프로덕션 레벨 (production-level) 실행에 동일한 프로세스를 사용할 수 있습니다. 직관적 인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 통해 연산자는 이상적인 결과를 위해 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 8600/8800 머신은 또한 다양한 표준 포토레지스트 (photoresist) 소재와 호환되며, 다양한 프로덕션 시나리오에 매우 다양합니다. 품질 관리 및 안전을 보장하기 위해 8600/8800 Series of photoresist 시스템에는 수많은 안전 센서와 긴급 차단 기능이 있습니다. 또한 공기 입자를 필터링하고 캡처하여 우수한 클린 룸 (cleanroom) 재료를 보장하는 입자 관리 도구 (particlemanagement tool) 로 충전됩니다. 또한, 이 자산은 원격으로 모니터링되도록 설계되어, 작업을 쉽게 감독할 수 있습니다. SVG 8600/8800 시리즈 포토레스 시스템은 안정적이고 고성능 결과와 단순화된 작동을 제공합니다. 반도체 (반도체) 업계의 선도적 기술로 남아 있다.