판매용 중고 SVG 86 #9163180

제조사
SVG
모델
86
ID: 9163180
웨이퍼 크기: 6"
Double coater, 6" Semi flat wafers Cassettes: Fluor ware Coater wafer direction: Left to right Coater with MYKROLIS IntelliGen 2 Pump Coater exhaust with auto-damper Hardware: SMC Digital vacuum sensor Coater bottom EBR with flow meter Does not include: Coater with catch-cup-rinse Thru-track interface to pe micralign riro MICROBAR chemical cabinet CTD CTR Vacuum bake wafer prime Coater spinner with servo pack Coater dispense line with flow meter Coater top EBR with flow meter Coater catch-cup-rinse with flow meter ADS Resist reservoir system No automation Power supply: 415 VAC, 3 Phase 2010 vintage.
SVG 86은 실리콘 밸리 그룹 (SVG) 이 반도체 산업에 사용하기 위해 개발 한 포토 esist 장비입니다. 뛰어난 인쇄 결과, 신뢰할 수 있는 에지 해상도, 노출 위도, 단일 사진, 유동 저항입니다. 이 시스템은 포토 esist 재료, 이미지 마스크, 포토 esist 개발자 솔루션 및 화학 처리 장치로 구성됩니다. 사용 하여, 광물질 은 반도체 "웨이퍼 '의 표면 에 적용 되고" 이미지 마스크' 로부터 자외선 (UV) 에 노출 된다. 빛은 저항의 특정 부분을 용해시키는 반면, 다른 부분은 그대로 남아 있습니다. 나머지 부분 은 "웨이퍼 '에 옮겨질" 패턴' 을 형성 한다. 86은 일정한 두께의 재료 (material) 및 균일한 모서리 해상도로 고해상도 이미지를 생성하도록 설계되었습니다. 광도 (light sensitivity) 가 낮아 고강도 (high-intensity) 에 노출될 수 있지만 깨끗하고 정밀한 이미지를 만들 수 있습니다. 저항은 또한 뛰어난 화학 저항성을 가지고 있으며 표백, 부식, 에칭에 강합니다. SVG 86은 다양한 반도체 제작 프로세스에 사용됩니다. MEMS (microelectromchanical system), 마이크로 컨트롤러 및 통합 칩셋과 같은 다양한 구성 요소를 만드는 데 사용됩니다. 또한 photoresistor, 박막 트랜지스터 및 발광 다이오드 (LED) 의 제작에도 사용됩니다. 또한 태양 전지와 태양 광 전지를 패턴화하는 데 사용됩니다. 이 기계는 대용량 및 고정밀 제작에 적합합니다. 그것은 일반적으로 변형된 실리콘, 저마늄, 화합물 반도체, 나노 구조와 같은 고급 재료의 제작에 사용됩니다. 이 도구는 사용하기 쉽고 운영자 교육을 최소화해야 합니다. 86 은 매우 다양 한 "반도체 '용도 에 적합 한, 경제성 이 높은 광소시스트 (photoresist) 용액 으로 설계 되었다. 결함률이 낮고 수확량이 높아 신뢰성이 높습니다. 따라서 대용량 (high-volume) 생산에 이상적이며, 완료된 디바이스의 안정성과 성능을 향상시킵니다.
아직 리뷰가 없습니다