판매용 중고 SVG 81-3 #154967

SVG 81-3
제조사
SVG
모델
81-3
ID: 154967
Single cabinet coat/bake system.
SVG 81-3은 뛰어난 성능과 재현 가능한 결과를 제공하는 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 양성 톤과 ARRA-97M 양성 포토 esist를 기반으로하며, 기판에 대한 접착력, 고해상도 이미지 및 뛰어난 라인 너비 제어를 개선합니다. 이 장치는 미세 집적 회로 (Fine Line Integrated Circuit) 와 장치 생산에 이상적입니다. 81-3은 포토 esist의 정밀 계량을 위해 고정밀 마이크로 기계식 분배 장치를 사용하는 단일 카트리지 머신 (single-cartridge machine) 입니다. 이 장치에는 마이크로프로세서 제어 도구가 장착되어 있어 photoresist dispensing rate, deposit timing, coating speed 등의 매개변수를 조정할 수 있습니다. 에셋은 또한 챔버 압력, 온도 및 습도를 모니터링하여 효율적인 작동을 가능하게합니다. 이 모델은 중단되지 않은 연속 처리를 위해 수동 또는 자동 작업을 위해 설정됩니다. SV 91-3 장비는 30 ° C 미만의 온도에서 작동하도록 설계되었으며, 탈분극 광으로 인한 가시성 문제를 줄이기 위해 특별히 설계되었습니다. 또한 고출력 UV 광원이 제공되어 감도 및 정확성이 향상되었습니다. 이 시스템은 또한 궤도 이미징 장치 (orbital imaging unit) 를 특징으로하며, 뛰어난 선 너비 해상도와 뚜렷한 패턴 형성을 통해 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 SVG 81-3 머신은 자동 이미지 위치 지정 및 정렬을 제공합니다. 이 강력한 기능을 사용하면 최고 품질의 이미지를 생성하기 위해 photoresist를 기판에 매우 정확하게 정렬할 수 있습니다 (영문). 이 도구는 또한 고급 On-Axis 이미징을 갖추고 있으므로 양면 처리에 이상적입니다. 결론적으로, 81-3은 신뢰할 수 있고, 정확하며, 효율적인 포토 esist 자산입니다. 이 제품은 선형 (Fine Line) 품질 이미지와 뛰어난 선폭 제어 기능을 제공하도록 설계되었으며, 여러 가지 자동화된 기능을 제공하여 정확성과 반복성을 향상시킵니다. 이 모델은 또한 기판에 대한 우수한 접착력을 제공하며, 양면 처리가 가능합니다.
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