판매용 중고 SVG 8028 #9396689

제조사
SVG
모델
8028
ID: 9396689
웨이퍼 크기: 5"
Tracker system, 5".
SVG 8028은 나노 스케일 구조의 자동 광석학 적 처리를 위해 설계된 포토 이스트 장비입니다. PVC (Polyvinyl Cinnamate) 를 수동 재료로 사용하는 신뢰할 수 있고 펄스 크기의 민감성 시스템입니다. 이 장치에는 다양한 옵션과 매우 정확한 매개변수 제어가 있습니다. 8028은 Light Source Module (LSM) 과 UV Curing Chamber가있는 SEM (Scanning Electron Microscope) 의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 기계는 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 설정 및 작동 할 수 있으며, 동일한 소프트웨어가 LSM, SEM 및 UV 큐링 챔버를 제어합니다. SEM (Scanning Electron Microscope) 은 고해상도 및 저전압 전자 빔으로 구조를 이미지화하는 데 사용됩니다. 이 도구는 해상도를 나노 미터 이하까지 달성 할 수 있습니다. 전자 "빔 '이 구조 를 따라 움직 이면서" 레지스트' 가 표면 에 증착 된 다음 자외선 치료 "챔버 '에서 치료 된다. 치료 된 저항은 절연 레이어를 제공합니다. SEM은 최대 500배까지 확대할 수 있으며 복잡한 3D 구조를 분석 할 수 있습니다. SEM은 평면 및 지형 세부 피쳐를 모두 평가하는 데 사용됩니다. LSM (Light Source Module) 은 조명 조명의 외부 소스입니다. 전원, 편광, 각도 입사, 파장 등 다양한 매개변수가 포함된 단색 빔을 제공합니다. LSM은 다각도의 입사율, 편광, 가변 빔 스팟 크기, 레이저 빔 초점, 어두운 필드/밝은 필드 조명 등 다양한 옵션에 액세스 할 수 있습니다. 광석기 처리를 자동화하는 데 안정적이고 매우 효과적 인 것으로 입증되었습니다. 자외선 치료 챔버 (UV curing chamber) 는 LSM 및 SEM과 결합하여 처리 중 고성능 및 안정적인 성능으로 저항합니다. 경화실 에는 정밀 한 온도 조절 장치 가 있어서, 안정성 이 높은 저항제 가 있다. 이 챔버에는 음향 피에조 (piezo) 에셋과 진공 모델이 내장되어 있어 효과적인 치료가 가능합니다. SVG 8028은 나노 스케일 프로세싱 분야에서 매우 다양한 장비입니다. 다양한 매개변수 (parameter) 와 다양한 프로세스 옵션을 안정적이고 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 시스템은 고정밀 3D 구조를 생산할 수 있으며 복잡한 나노 구조에 탁월한 해상도를 제공합니다. 또한 비용 효율적이므로 최소한의 유지 보수가 필요합니다.
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