판매용 중고 SVG 800 #293639165

SVG 800
제조사
SVG
모델
800
ID: 293639165
웨이퍼 크기: 6"
Coater / Developer system, 6" 1995-1996 vintage.
SVG 800은 매우 정확한 회로를 생산하도록 설계된 포토리스 시스템입니다. 800 회로 설계를 위해 나노 미터 수준의 정밀도를 달성하기 위해 긍정적이고 부정적인 포토 esist 기술을 제공합니다. 부미크론 (sub-micron) 수준에서 일관되게 정확한 부품을 만들고 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. SVG 800은 특수 광원, 회전하는 UV 광 디스크 및 정밀 마스크 정렬 단계로 구성됩니다. 광원은 표준 (standard) 과 비스듬한 각도 사이를 전환하여 더 정확한 빔 배치 (beam placement) 와 고해상도 (higher resolution) 를 가능하게 합니다. 광학 디스크에는 투과성 노출 영역 (transmissive exposure area) 과 반사성 필드 생성기 (reflective field generator) 가 있으며 노출 영역 전체에서 노출 에너지를 균등하게 분할하는 책임이 있습니다. 노출 영역은 하위 영역으로 더 나뉘어, 특히 서브 미크론 수준에서 노출 정확도 및 반복 성을 개선 할 수있다. 마스크 정렬 단계 (mask alignment stage) 는 광원과 관련하여 기판 및 기판을 정확하게 배치하는 역할을 합니다. 정렬 단계 (alignment stage) 는 레벨 플랫폼과 유사하게 기능하며, 기판과 기판 마스크를 정확하게 이동 및 회전할 수 있습니다. 기판 "마스크 '와 기판" 마스크' 는 수동적 으로 이동 되는데, 이것 은 잘못 된 정렬 의 위험성 을 최소화 하는 한편, 여전 히 높은 정도 의 정확도 를 허용 한다. 전체 시스템은 제어 (control) 및 데이터 처리를 담당하는 컴퓨터 (computer) 에 의해 구동됩니다. 컴퓨터는 광원, 광학 디스크 회전 속도, 노출 영역 위치를 제어합니다. 또한 마스크 정렬 단계 (x, y, z 동작 단계 및 회전 메커니즘 포함) 를 제어합니다. 또한 "컴퓨터 '는 노출" 매개변수' 를 기록 하고 노출 "데이터 '를 처리 하여 회로 의 각 층 이 정확 하고 정확 하게 노출 되어 있는지 확인 한다. 800 은 강력하고 신뢰할 수 있는 포토리스 (photoresist) 시스템으로, 엔지니어와 디자이너들이 매우 정확하고, 반복 가능하며, 나노미터 수준의 회로를 만들 수 있도록 도와줍니다. 사용하기가 쉽고, 정확성과 반복성 (repeatability) 은 높은 정확도와 반복 (repeatability) 이 필요한 사람들에게 탁월한 선택입니다.
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