판매용 중고 SURFTECH / DAEDALUS Star4 #293608633
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ID: 293608633
Ion coating system
Coating technology:
Special coating recipe: AlTiCrN, TiSiN, TiN, CrN
Process chamber:
Type: Stainless steel double walled chamber with shutter
Chamber size: 900 x 850 mm
Usable plasma zone: 600 x 550 mm
Arc source:
Deposition source: (4) Circle cathode targets, 6"
Power supply: (4) Digital DC power supplies
Auto trigger detection system
Pump:
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Turbo molecular pump, 1500 L/s
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Primary pump, 65 m³/h
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Booster pump, 250 m³/h
Vacuum measure:
SUCO Piezo gauge
(2) ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Pirani gauges
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Penning gauge
MKS Baratron Gauge
Gas control:
MKS Mass Flow Controller (MFC), Ar and N2
(2) Heaters, 18 kW:
Measure: (2) Thermocouples
PID Temperature controller
Substrate and carousel:
Carousel: 580 x 600 mm
Loading capacity: 500 kg
BIAS Power supply: Integrated ARC suppression, 15 kW, DC 1000 V, 25 A
Touch panel PC, 17"
Power supply: 380/400 V, 50/60 Hz, 45 kW, 3-Phase.
SURFTECH/DAEDALUS Star4는 주로 정밀 상업용 반도체 리소그래피를 위해 설계된 고성능 포토 esist 장비입니다. Photoresist는 반도체 장치 및 회로의 제작에 사용되는 빛에 민감한 재료입니다. SURFTECH Star4는 동급 최고 해상도를 0.1 um 아래로 낮추면서 뛰어난 균일성과 프로세스 안정성을 제공합니다. DAEDALUS Star4는 특허를받은 Quad Light Source ™ 를 특징으로하며, 이는 뛰어난 프로세스 일관성을 위해 매우 균일하고 광범위한 UV 광 스펙트럼을 방출합니다. 이것은 뛰어난 광 균일성과 더 높은 처리량을 위해 고급 광학과 결합됩니다. 또한 Star4는 정확하고 반복 가능한 정렬 및 초점을 위해 고정밀 웨이퍼 단계를 제공합니다. SURFTECH/DAEDALUS Star4에는 광범위한 프로세스 제어 및 수집 기능이 포함되어 있습니다. 이 시스템은 로봇이나 수동 로딩 (manual loading) 을 선택할 수 있고, 레시피 및 반복 가능한 프로세스를 관리할 수 있는 강력한 컨트롤러를 제공합니다. 내장형 소프트웨어 시스템은 분석 및 데이터 보존을 제공하므로 운영자가 실시간 분석을 통해 레시피를 검토, 조정할 수 있습니다. 또한, 정확한 초점 제어를 위한 전동 광학 (옵션) 은 프로세스 개발을 더욱 가속화하고 정확성을 향상시킵니다. 또한 SURFTECH Star4 (SURFTECH Star4) 에는 처리량이 높고 장비 세트 포인트에 투명한 액세스를 제공하는 프로세스 컨트롤이 장착되어 있습니다. 내장 결함 검사 시스템은 최적화 전에 사양 제품을 감지하여 수율을 향상시킵니다. 이 장치는 공장의 기존 제품 라인에 손쉽게 통합될 수 있어, 신속하게 통합할 수 있습니다. DAEDALUS Star4 는 모든 애플리케이션에 적합한 다양한 옵션을 통해 운영, 유지 보수, 업그레이드가 간편합니다. 이 시스템은 또한 화면상 (on-screen) 및 화면 외 (off-screen) 방법을 통한 진단 정보와 다양한 사용자에 적합한 대용량 심층적 자원 라이브러리를 제공합니다. 이 도구는 SEMI 2000 리소그래피 표준을 초과하도록 설계되었습니다. 전반적으로 Star4는 강력한 성능, 프로세스 제어 및 반복 가능한 균일성을 제공하는 고가용성 photoresist 자산입니다. 뛰어난 해상도, 신뢰할 수 있는 결함 감지, 수명 연장 (extended lifetime) 특성을 통해 반도체 생산 요구에 적합한 모델을 구축할 수 있습니다.
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