판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Marangoni #9267094

STEAG/MATTSON/AST Marangoni는 다양한 표면에서 정밀 에칭 및 패턴화를 가능하게하기 위해 개발 된 포토 esist 장비입니다. 자외선 (UV) 광 조사 및 노출 후 열 처리의 정교한 조합을 사용하여 기질의 표적 영역을 정확하게 용해합니다. 광전 물질은 표적 영역에 액체로 적용됩니다. 자외선 에 노출 되면, 액체 의 노출 된 부분 이 고체 로 변한다. 조사 후, 샘플은 맞춤형 AST Marangoni Application System Thermal Unit (MASTU) 을 사용하여 가열됩니다. 이 과정으로 인해 반응 된 포토 esist가 제어 된 방식으로 용해됩니다. 조사되지 않은 물질이 영향을 받지 않도록 하려면, 열은 고급 열 제어 장치 (advanced thermal control unit) 를 사용하여 정확하게 조절해야합니다. 이 과정을 통해 키가 크고 얇은 구조, 정확히 어디에서, 그리고 높은 수직 충실도를 미세 조정할 수 있습니다. 또한 미세 한 각도 와 "마이크로채널 '이 형성 될 것 이며, 저항력 의 두께 를 정확 하게 제어 할 수 도 있다. STEAG Marangoni는 특히 MEMS (MicroElectroMechanical Systems) 및 NEMS (Nano ElectroMechanical Systems) 와 같은 박막 장치 구조에 적합합니다. 또한 의료 기기, "에너지 '수확," 센서' 와 같은 다른 분야 에서도 매우 성공적 이다. Marangoni는 넓은 면적과 작은 면적의 photoresist 패턴화에 적합합니다. 매우 비용 이 많이 드는 효과적 인 방법 으로서, 매우 다양 한 재료 의 "패턴 '을 정밀 하게 만드는 것 은 물론, 환경 친화적 인" 솔루션' 이며, 어떤 위험 한 화학 물질 도 사용 할 필요 가 없다. 결론적으로, MATTSON Marangoni (MATTSON Marangoni) 는 비용 효과적이고 안전한 방법으로 정밀 에칭과 패턴을 달성하기위한 신뢰할 수있는 기계입니다. 이 제품은 광범위한 애플리케이션에 사용할 수 있으며, 높은 정확도와 무독성 (non-toxic) 기술을 통해 혁신적 (innovating) 디바이스를 보다 쉽고 효율적으로 제작할 수 있습니다.