판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Marangoni #293595304

STEAG/MATTSON/AST Marangoni Photoresist Equipment는 전자 부품 및 장치를 제조하는 데 사용되는 고도로 고급 사진 분석 방법입니다. 광 노출 (light exposure) 과 반응성 확산 (reactive diffusion) 을 포함한 여러 프로세스의 조합을 사용하여 포토리스 스트 (photoresist) 덮힌 기판을 노출하고 개발하며, 이를 사용하여 원하는 구조나 피쳐를 패턴화하는 데 사용됩니다. AST Marangoni Photoresist System은 WaferProcessor와 SoftBake Oven이라고하는 두 개의 개별 원자로로 구성됩니다. 웨이퍼 프로세서 (WaferProcessor) 는 기판의 표면에 포토리스 (photoresist) 분자를 정렬하고 원하는 노출 패턴을 만들고 포토리스 (photoresist) 레이어를 개발하는 컴퓨터 제어 기계입니다. 노출 및 개발 프로세스는 기판을 지정된 광 노출 및 반응성 확산 패턴 (reactive diffusion pattern) 에 노출시켜 수행된다. 그런 다음 SoftBake Oven을 사용하여 패턴 작성 프로세스를 완료합니다. 이 과정에서, 기질은 오븐에서 지정된 온도로 가열되고, 미리 정의 된 노출 시간으로 설정 된 후, 기질의 다른 부분 사이에 제어 된 열 구배 (controlled thermal gradient) 가 생성된다. 이 열 구배는 광저항 층 (photoresist layer) 을 수정하지 않고 원하는 패턴을 선택적으로 형성 할 수 있습니다. STEAG Marangoni Photoresist Unit의 마지막 단계는 베이크 후 (post-bake) 이며, 고온 오븐을 사용하여 포토 esist 물질을 활성화합니다. 이 활성화 (activation) 과정을 통해 에칭 (etching) 및 기타 제조 프로세스 동안 포토리스 (photoresist) 패턴이 그대로 유지되고 원하는 패턴이 정확하게 복제됩니다. 결론적으로, Marangoni Photoresist Machine은 전자 부품 및 장치를 제조하는 데 사용되는 고급적이고 신뢰할 수있는 photolithography 방법입니다. 이 접근 방식은 노출, 반응성 확산, 구동 후 프로세스의 조합을 활용하여 정확한 패턴과 기능을 얻습니다. 이 도구는 설치 시 비교적 작은 크기와 저렴한 비용으로, 다양한 대용량 (High Volume) 생산 프로세스에 적합합니다.