판매용 중고 STEAG Marangoni #138851

STEAG Marangoni는 반도체, MEMS 및 기타 마이크로 일렉트로닉 제작 프로세스에 사용되는 현대 포토 esist 장비입니다. 그것 은 "레이저 '빛 의 노출 에 더 민감 하게 하기 위하여 기질 (일반적으로" 실리콘 웨이퍼') 에 적용 되는 특수 민감성 유화액 으로 구성 된다. 유화액은 유기 염기의 수용액과 광활성 화합물을 함유 한 화합물로 구성된다. 기질이 레이저 빛에 노출되면, 이들 화합물은 빠르게 해리되어 광화학 반응에 들어가는 라디칼 (radicals) 을 형성하여 기질에 산화 알루미늄 필름 (aluminum oxide film) 을 형성한다. Marangoni photoresist 시스템은 탁월한 정확성과 일관성을 갖춘 우수한 석판화 결과를 제공하도록 설계되었습니다. "알루미늄 '산화물" 필름' 에 의해 생성 되는 "알루미늄 '산화물" 필름' 의 두께 와 표면 은 매우 균일 하며 기질 지형 에 밀접 히 부합 된다. 이 정밀도는 기질에 첨가 된 고품질의 반전 방지 코팅 (anti reflection coating) 과 광저항 유화 (photoresist emulsion) 의 높은 정확도 증착 (deposition) 에 의한 것입니다. STEAG Marangoni photoresist machine은 우수한 석판 결과를 제공하는 것 외에도 우수한 접착 및 열 안정성을 가지고 있습니다. "알루미늄 '산화물" 필름' 을 기질 에 접착 시키는 것 이 뛰어나기 때문 에 광물질 "필름 '은 단단 히 부착 되어 있다. 포토 esist의 열 안정성 (thermal stability) 은 접착력을 크게 잃지 않고 최대 300- 의 온도를 견딜 수 있습니다. 마랑 고니 (Marangoni) 포토 esist 도구는 반도체 장치, MEMS 장치 및 기타 마이크로 일렉트로닉 부품의 생산을 포함하여 광범위한 응용 분야에서 사용될 수 있습니다. 특히 트렌치 (trench), 그루브 (groove), 동굴 (cavities) 과 같은 높은 종횡비 기능을 가진 반도체 부품의 제작에 적합합니다. 우수한 리소그래피 결과와 높은 열 안정성 (thermal stability) 을 통해 정밀도 및 신뢰성이 필요한 마이크로 일렉트로닉 제작 어플리케이션에 이상적인 선택이됩니다.