판매용 중고 SSE Maximus 804 #293633410
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ID: 293633410
웨이퍼 크기: 2"-6"
Coater / Developer system, 2"-6"
Option: Resist syringe
(3) Media tanks: EBR, CD26 (Developer)
HMDS Station
(2) Hotplates
Cool plate
Video pre aligner
Proximity wafer handler on hotplate: 0 mm - 11 mm
Robot wafer handler
Coater: EBR and BSR
Maximum coating speed: 6000 RPM
Maximum developing speed: 6000 RPM
Developer: BSR
Developer nozzles:
Pray
Puddle
(2) Resist pumps:
SPR 700 1.2
AZ4533
Hot plate:
Temperature uniformity and control: +0.5°C at 100°C
Maximum temperature: 250°C
Cool plate:
Temperature uniformity and control: +0.5°C at 20-30°C
Spin process uniformity:
Photoresist uniformity (Across wafer): <15 Å (1 Sigma)
Photoresist uniformity (Wafer-to-wafer): <20 Å (1 Sigma).
SSE 막시무스 804 (Maximus 804) 는 반도체 및 전자 부품 제조에 photoresist 재료를 적용하도록 설계된 신뢰할 수 있고 사용자 친화적 인 photoresist 장비입니다. 시스템은 정확한 방법으로 높은 종횡비 피쳐를 형성 할 수 있습니다. 고급 (Advanced) 기술을 활용하여 세부 사항이 매우 세밀하지 않아도 뛰어난 품질의 이미지를 만들 수 있습니다. Maximus 804 장치는 장치 노출, 전송 장치 및 개발 장치의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 노출 장치는 고속 이미징을 허용하는 Laser Diode 어레이가있는 DDI (Digital-Direct Imaging) 머신을 기반으로합니다. 전송 장치는 광학 (optical) 또는 열 각인 (thermal imprinting) 을 통해 이미지를 실제 포토 esist 기판으로 전송하는 것을 용이하게합니다. 개발도상장치는 다양한 포토레지스트 (photoresist) 재료의 이미징 결과를 최적화하기 위해 조정할 수 있는 침수 (immersion) 또는 스프레이 (spray) 개발 절차를 기반으로 한다. 이 도구는 광범위한 포토레시스트 (photoresist) 재료를 사용하여 작업할 수 있으며 처리 매개변수를 최적화하기 위해 미크론 (micron) 에서 밀리미터 (MM) 까지 다양한 피쳐 크기를 지원할 수 있습니다. 접촉, 스테퍼, 투영 및 DRIE (Deep Reactive Ion Etching) 와 같은 다양한 리소그래피 프로세스를 위해 설계되었습니다. 수동 (manual), 반자동 (semi-automatic) 또는 완전 자동 (fully automatic) 과 같은 여러 작동 모드의 경우 에셋을 사용하여 사용자가 필요에 가장 적합한 모드를 선택할 수 있습니다. 또한 SSE Maximus 804 모델은 고품질 구성 요소 및 구성으로 인해 안정성이 뛰어나고 내구성이 뛰어납니다. 기계적 충격, 과열 및 먼지에 강한 최신 MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) 기반 광학 어셈블리를 갖추고 있습니다. 이 장비는 강력한 컨트롤러 인터페이스 (controller interface) 를 통해 산업 환경에 적합하며, 장기간 사용 시 일관된 성능을 보장합니다. 전반적으로 Maximus 804 시스템은 신뢰할 수 있는 성능, 고급 기술, 다양한 운영 모드 (operating mode) 로 인해 다양한 photoresist 어플리케이션 요구에 이상적인 선택입니다. 뛰어난 품질의 이미지를 생성하며, 화면 비율이 높은 기능의 정확한 형성을 보장합니다. 또한, 사용자 친화적인 설계, 광범위한 옵션, 높은 신뢰성을 통해 소규모 생산 및 대규모 제조 요구 사항을 충족하는 매력적인 솔루션이 될 수 있습니다.
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