판매용 중고 SRD CT-302 #9301059

SRD CT-302
제조사
SRD
모델
CT-302
ID: 9301059
Wafer spin dryer.
SRD CT-302는 얇은 층 (5um까지) 의 저항을 기판에 패턴화하고 증착시키는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. DUV 방사선 소스를 사용하는 통합 석판 시스템이며, 포토 esist를 5 um 얇게 노출시키기 위해 최대 193nm 파장이 있습니다. 이 장치 는 "스테퍼 모우터 ', 조정 가능" 소오스' 및 동력 "컨트롤러 '를 갖추고 있어서 기판 을 정확 하게 노출 시킬 수 있다. 이 기계는 또한 ASML 코터/개발자 유닛을 통합하여 양성 필름과 음성 필름을 습식 및 개발 할 수 있습니다. 이를 통해 매우 정확하고 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 스테퍼 모터는 포커스 (focus) 와 노출 영역 (exposure area) 을 정확하게 제어하고 실시간 프로토 타입 기능을 제공합니다. 공구의 조정 가능한 소스 (adjustable source) 는 저항성 (resist properties) 에 대한 자세한 분석을 통해 패턴화 프로세스를 미세하게 조정할 수 있습니다. 자산에는 기판 위치와 노출 시간의 이동을 감지하기 위해 매우 민감한 광학 센서 (optical sensor) 가 장착되어 있습니다. 또한 스테퍼 모터 (stepper motor) 와 조절 가능한 소스의 정확한 이동을 위해 정교한 전동 컨트롤러 (Motorized Controller) 가 장착되어 있습니다. CT-302는 직관적이고 편리한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 이를 통해 다양한 설정과 프로시저 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 안정적이고 내구성이 뛰어난 구성 요소는 일관되고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 포토 esist 모델은 안전과 유지 관리 용이성을 위해 설계되었습니다. 비상용 정지 (Emergency Stop) 버튼, 장비 모니터링 카메라 등 안전 기능이 내장되어 있습니다. 또한 이 부품은 유지 보수에 쉽게 액세스할 수 있으며, 필요할 경우 신속하게 서비스를 제공합니다. SRD CT-302는 고급 석판화 프로세스에 필요한 모든 정확도, 정확도 및 성능을 통합합니다. 무결점 박막 레이어 (Thin-film layer) 의 제작에 적합하며, 잘 갖추어진 실험실을위한 훌륭한 자산입니다.
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