판매용 중고 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS Precision Coater #9135649

SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS Precision Coater는 미세 전자 또는 광자 응용 분야에 적합한 포토 esist 재료로 기판의 최적 및 정밀 코팅을 위해 설계된 정밀 포토 esist 코팅 장비입니다. 이 시스템은 나노 미터 수준의 균일성 (nanometer-level uniformity) 과 정확성 (accurity) 의 정밀 기능으로 인해 고품질로 연마됩니다. 고정밀 펌프 및 정밀 노즐, 코팅 프로세스의 자동 제어 및 균일성을 제어하는 Photoresist Application Module, 통합 카메라 기술을 통해 코팅 표면을 정확하게 스캔하는 스캐너 모듈 (Scanner Module) 등 Photoresist Dispense Module로 구성됩니다. 포토레시스트 디스펜스 모듈 (Photoresist Dispense Module) 에는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스가 장착되어 있어 사용자가 원하는 포토레시스트 볼륨, 농도, 속도를 설정할 수 있습니다. 이 모듈에는 매우 정확하고 안정적인 결과를 제공하는 고성능 펌프, 밸브, 노즐도 포함되어 있습니다. 또한, ASEP-X 유리 모세관 분배 펌프는 나노 미터 수준의 균일 성과 정확성을 달성하기 위해 매우 정확한 분배 매개 변수를 제공합니다. Photoresist 응용 프로그램 모듈 (Photoresist Application Module) 에는 Photoresist Application Arm과 가장자리 효과를 최소화하고 코팅 분배를 제공하는 디스펜스 헤드 틸트 메커니즘이 장착되어 있습니다. 광학 및 전기 진단 (optical and electrical diagnostics) 을 사용하여 응용 프로그램 매개변수를 최적화할 수 있으므로 Photoresist Application Module을 사용하여 코팅 된 기판의 균일성이 놀랍도록 정확합니다. 스캐너 모듈 (Scanner Module) 은 높은 정밀도로 표면 결함 및 불균일성을 감지 할 수 있습니다. 이것은 카메라 모듈과 통합 된 내장 110 ° Prism에 의해 실현됩니다. 또한, 스캐너 모듈 (Scanner Module) 에는 1 단계 비 접촉 시트 저항 측정이 장착되어 있으므로 주어진 포토레지스트 레이어의 성공 또는 실패를 즉시 모니터링하고 평가할 수 있습니다. 전반적으로 SCS Precision Coater는 모든 마이크로 일렉트로닉 또는 광자 응용을위한 뛰어난 포토 esist 단위입니다. 고밀도 (High-Precision) 기능과 최적화된 성능에 허용되는 다양한 모듈로 인해 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 이 포토레지스트 (photoresist) 기계는 검증되었으며, 다양한 기판 및 표면에 있는 포토레시스트 (photoresist) 층의 작고 대규모 증착에 효과적이므로, 정밀 코팅 요구에 이상적인 선택입니다.