판매용 중고 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS P Coater #9093851

특수 코팅 시스템/SCS P 코터 (SPECIALTY CoATING SYSTEMS/SCS P Coater) 는 광선에 민감한 코팅을 유리 및 기타 광학 투명 기판에 증착시키기 위해 개발 된 포토 esist 장비입니다. 시스템은 광원, 컨트롤러, 샘플 스테이지 및 교환 가능한 필터 휠로 구성됩니다. 이 장치는 1 ~ 50 nm 범위의 두께를 가진 고해상도, 단일 광자 광 노출 패턴을 생성 할 수 있습니다. 빔 형태 렌즈 (beam shaping lens) 를 사용하면 필요한 빔 에너지가 줄어드는 반면, 필터 휠은 스펙트럼 제어 (spectral control) 를 만들어 적절한 광원 스펙트럼을 선택합니다. SCS P 코터 (SCS P Coater) 는 고급 6 축 로봇 단계를 사용하여 샘플을 원하는 초점 평면에 유지하면서 많은 양의 샘플 이동을 허용합니다. 광원은 랜덤 액세스 패턴을 갖춘 고강도, 일관성 있는 광원을 제공하여 다양한 광원 (light exposure) 을 만듭니다. 컨트롤러를 사용하여 사용자는 노출 패턴 설정, 노출 시간 선택, 스캔 영역, 원하는 샘플 영역에 대한 노출 반복 (repat exposure over exposure) 등을 수행할 수 있습니다. SPECIALTY COATING SYSTEMS P Coater는 photoresist를 호환되는 기판 표면에 코팅하도록 설계되었습니다. "코우팅 '된 물질 은 입사광 으로 노출 되는데, 이것 은 광물질 이 노출 된 부위 에서 굳어지게 하는 화학 과정 을 촉발 시킨다. 게다가, 기계 는 노출 수준 을 변화 시킬 수 있어서, 고도 로 최적화 된 표면 "패턴 '을 만들 수 있다. 또한 P Coater는 많은 유용한 액세서리를 통해 사용자에게 유연성을 제공합니다. 여기에는 샘플 난방원 (sample heating source), 샘플 홀더 선택, 스퍼터링에 적합한 파장 선택을 위한 다양한 필터가 포함됩니다. 이 도구에는 표면에서 샘플 코팅 프로세스 사이에 분산된 입자를 제거하기위한 자동 웨이퍼 클리닝 스테이션 (automated wafer cleaning station) 도 포함되어 있습니다. 전반적으로 SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS P Coater는 빛에 민감한 코팅의 증착을위한 효율적이고 고정밀 자산입니다. 첨단 기술은 코팅 프로세스 설정을 단순화하고 노출 수준 (exposure level), 스펙트럼 (spectrum) 과 같은 코팅 매개변수를 유연하게 제공합니다. 이 모델은 사진 촬영 산업 (photolithography industry) 의 다양한 응용 분야에 적합하며, 다양한 유형과 크기의 기판에 기능적인 레이어를 정확하게 증착 할 수 있습니다.