판매용 중고 SOLITEC S822 ACB #9354008

SOLITEC S822 ACB는 다양한 에치, 증착 및 평면 화 과정에서 사용되는 CMP (Advanced Chemical-mechanical) 포토 esist 장비입니다. 완벽한 평면을 유지하기 위해 낮은 수준의 오염이 필요한 고정밀 유전체 연마 (high-precision dielectric polishing) 를 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 부드럽고 손상이 적은 연마 용도로 공기 쿠션 벨트 (ACB) 를 사용하는 반면, 고급 포토 esist 기술은 일관된 결과를 보장합니다. S822 ACB는 내구성 및 부식 내성 스테인리스 스틸 프레임, 2hp 가변 속도 모터 및 중량 수송 테이블로 구성됩니다. "모터 '는 부드럽고, 신뢰 할 수 있고, 심지어 는 움직 일 수 있도록 설계 되어 정밀 한 과정 에 이상적 이다. 운반 테이블 (Transport Table) 은 연마 중에 웨이퍼를 안전하게 고정하도록 설계되었으며, 다시 순환하는 슬러리 관리 장치 (slurry management unit) 를 장착하여 캐리 오버를 최소화하고 처리 중에 필요한 제품의 양을 최소화합니다. SOLITEC S822 ACB는 또한 압력, 기계/화학 콤보 동작 및 연마 방향과 같은 기본 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 고급 제어 기계를 갖추고 있습니다. 이것은 작고 복잡한 모양의 부품을 우수한 평면 화하도록 보장합니다. 첨단 연마 헤드 (Advanced Polishing Head) 는 다양한 웨이퍼 크기에 맞게 설계되었으며, 열 분해를 최소화하고 처리 중인 재료의 품질을 유지하기 위해 활성 냉각 도구를 갖추고 있습니다. S822 ACB는 유기 및 무기 유형을 포함한 다양한 포토 esist와 함께 사용하도록 설계되었습니다. 이 재료는 우수한 식각 선택성을 제공하여 더 높은 수율과 더 높은 품질의 제품을 제공합니다. 고급 슬러리 관리 (slurry management) 자산은 연마 프로세스의 각 단계에 최적의 양만 사용하므로 효율적이고 비용 효율적인 운영을 보장합니다. SOLITEC S822 ACB는 고정밀 유전체 연마를위한 훌륭한 선택입니다. 견고한 디자인과 고급 (Advanced) 기능을 통해 광범위한 어플리케이션을 위한 안정적이고 경제적인 선택이 가능합니다. 정교한 제어 모델과 결합된 첨단 포토리스 스틱 기술 (photoresist technology) 과 연마 헤드 (Polishing Head) 는 뛰어난 평면 성, 우수한 수율 및 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 운영을 제공합니다.