판매용 중고 SOLITEC 5110 #9363072

SOLITEC 5110 photoresist 장비는 photoresist 물질을 기판 물질에 노출시키도록 설계된 생산 장비입니다. 클래식 포토리토그래피 (photolithography) 프로세스를 사용하며 일관된 결과로 고해상도, 고품질 회로 패턴을 만들 수 있습니다. 5110은 6축 리소그래피 스테이지 어셈블리 (lithography stage assembly), 주 제어 장치 (main control unit) 및 주석 단위 (annotation unit) 로 구성된 전체 기능 시스템입니다. 리소그래피 스테이지 어셈블리는 스테이지 베이스, 2 개의 중간 스테이지 및 마이크로 스테이지로 구성됩니다. 모든 단계는 개별적으로 작동 할 수 있으며, 기계의 총 이동 범위는 25x25 마이크로 미터입니다. 스테이지는 주 제어 장치 (touchscreen interface) 에 연결됩니다. 이를 통해 사용자는 단계의 위치 지정 (positioning) 과 이동 (movement) 및 photoresist 프로세스의 노출 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 솔리텍 5110 (SOLITEC 5110) 에는 양성 (positive) 및 음성 (negative) 톤 재료뿐만 아니라 이중 층 재료를 포함하여 처리 할 수있는 다양한 포토 esist 재료가 제공됩니다. 또한 0.2 ~ 1600 초의 다양한 노출 시간과 수동 및 자동 패턴화를 허용합니다. 또한, 포토 esist가 고르게 노출되도록 사전 프로그래밍 된 곡선 바이어스 제어 도구가 있습니다. 주석 에셋을 사용하면 노출 과정에서 패턴을 정확하고 신속하게 주석을 달 수 있습니다. 이 주석 모델은 신뢰성이 높으며, 데이터는 내부 메모리에 저장됩니다. 이 장비는 또한 in-situ 웨이퍼 정렬 및 corrected-plane 정렬, 회전 및 사전 노출 등록을 포함한 다양한 정렬 기능을 제공합니다. 5110 시스템은 사용하기 쉽지만 매우 정확하고 정확합니다. 고해상도, 짧은 회전식 포토 esist 프로세스가 필요한 사람들에게 완벽한 솔루션입니다. 이 장치는 완벽하게 자동화되고 안정적이며, 프로세스 전반에 걸쳐 일관된 고해상도 (High-Resolution) 및 고품질 (High-Quality) 패턴을 제공합니다.