판매용 중고 SOLITEC 5100 #9207415

SOLITEC 5100은 포토 esist 처리 전용 정밀 저항 코팅 장비입니다. 박막 포토레스 코팅 및 노출에서 탁월한 균일성과 반복성을 제공하도록 설계되어 고급 반도체 장치 (advanced semiconductor devices) 의 생산에 이상적입니다. 견고한 시스템은 정확한 박막 코팅을 가능하게하는 통합 필터 휠을 갖추고 있습니다. 필터 휠은 정확하게 제어 된 액체 전달 및 분산 (분산) 을 가능하게하여 필름 균일성이 뛰어납니다. 또한, 필터 휠은 분산 중 용매 출혈을 최소화하는 데 도움이되며, 이는 기질을 보호합니다. 또한 프로세스 반복성 및 신뢰성 향상을 위한 자동화를 제공합니다. 닫힌 루프 머신은 자동으로 peristaltic 펌프 속도, 필터 휠 분배 각도 및 피쳐 간격 (feature gap spacing) 을 조정합니다. 이렇게 하면 각 코팅의 품질이 일관되게 유지됩니다. 5100은 개발자, 스트리퍼 솔루션 등의 재료, 스핀 온 (spin-on) 및 스프레이 온 포토 esist 코팅을 포함한 다양한 공통 석판 재료와 호환됩니다. 이 도구는 다양한 점도 수준 또는 재료 요구사항을 수용하기 위해 여러 코팅 압력 수준을 지원합니다. SOLITEC 5100에는 자동 스캐닝 (scanning) 노출 기술이 탑재되어 있어 고품질 노출 프로파일과 선명한 이미지가 가능합니다. 이 자산은 미크론 수준의 정확도에서도 고대비, 고해상도 필름 이미지 재생산을 제공합니다. 또한 전력 최적화는 박막 포토 esist 코팅 및 노출에서 정확한 균일성을 보장합니다. 이 모델은 통합 온도 조절 장비 (Integrated Temperature Control Equipment) 를 통해 처리 주기 전반에 걸쳐 정확한 온도 조절을 보장합니다. 또한, 환경 인클로저 (environmental enclosure) 를 사용하여 안전을 향상시킬 수 있으며, 열 방사선으로부터 기판을 보호하기 위해 냉방 재킷을 장착 할 수 있습니다. 요약하면, 5100은 정밀 박막 포토 esist 처리를 위해 설계된 고급 저항 코팅 장치입니다. 견고한 설계로 정확한 액체 전달, 균일 한 코팅, 제어 온도 및 일관된 노출이 가능합니다. 이것은 기계가 고급 반도체 장치의 생산에 이상적입니다.