판매용 중고 SOLITEC 4110 #2862
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SOLITEC 4110은 고해상도 석판 산업을 위해 특별히 설계된 고급 직접 쓰기 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 정밀 기계식 포지셔닝, 열 제어, 사진 광학 품질 제어 기능을 통해 완전히 자동화되었습니다. 포토마스크 (photomask) 는 최대 12 인치 크기로 인쇄할 수 있으며 해상도가 높은 응용 프로그램에 적합합니다. 이 장치에는 원하는 생산 기판에 포토 esist 코팅을 빠르고 균일하게 전달하는 마이크로 드라이어 모듈 (micro-dryer module) 이 포함되어 있습니다. 또한 초고해상도 리소그래피 (lithography) 를 사용할 수 있도록 설계된 원자 레이저 스캐너가 장착 된 고급 레이저 빔 라이터 머신도 포함되어 있습니다. 이 도구는 최대 20nm 오버레이로 최대 90nm 중요 기능을 인쇄할 수 있습니다. 정확성과 유연성을 높이기 위해 프로그래밍 가능한 마이크로 테프 드라이브가 특징입니다. 자산에는 스펙트럼 (spectral) 및 광학 (optical) 특성을 동시에 모니터링할 수 있는 스펙트럼 이미지도 장착되어 있습니다. 빠른 코팅 및 검사 프로세스를 위해 2 차원에서 고속 스캔이 가능합니다. 모델의 자동 이미지 등록 기능은 모든 기판에서 안정적인 결과를 보장합니다. 이 장비는 또한 제조 공정의 정확성과 제어성을 향상시키기 위해 설계된 특수 소프트웨어 (specialized software) 를 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 레이저의 전원, 속도, 피쳐 크기 등의 매개변수를 빠르게 수정할 수 있습니다. 또한 프로파일을 쉽게 최적화하고, 저장하고, 다른 석판 공정에서 사용할 수 있습니다. 프리미엄 엔터프라이즈 (High-End) 옵티컬 기술과 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 를 결합하여 사용자가 보다 정밀하게 포토마스크 (photomask) 를 효과적이고 안정적으로 생성할 수 있다는 점에서 이 시스템은 독특합니다. 그것의 능력은 석판 산업에 이상적인 솔루션이됩니다.
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