판매용 중고 SITEK Semitool C225 #9397402
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SITEK Semitool C225 Photoresist Equipment는 집적 회로 제조를 위해 설계된 고급 고속 코팅 및 개발 시스템입니다. Semitool C225 는 종합적이고 구성 가능한 소프트웨어 플랫폼에 의해 제어되는 정교한 코팅 및 개발 프로세스를 통합합니다. 이 장치는 단일 (single) 및 이중 (dual) 레이어 유형을 포함하여 집적 회로 제조 프로세스에 사용되는 다양한 감광 저항을 코팅 할 수 있으며, 다양한 크기의 웨이퍼를 수용할 수있는 유연성을 갖습니다. C225 는 안정된 진공 헤드 방적 디스크 머신 (Disk Machine) 을 활용하여 최대 2000rpm 의 속도로 저항을 웨이퍼에 균등하게 분산시킵니다. 그런 다음 코팅 된 웨이퍼는 멀티 존 (Multi-Zone) DRM (Hot Wall Resist Development Module) 을 입력하여 개발 시간이 짧고 빠른 동기화를 지원하도록 설계되었습니다. C225 의 고급 웨이퍼 정렬 모듈 (Advanced Wafer Alignment Module) 은 각 웨이퍼를 도구에 정확하게 등록하므로 이미지를 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한, 에셋은 최적의 이미지를 보장하기 위해 조정 가능한 오버 헤드 및 사이드 라이팅 노출 시스템을 구현합니다. C225는 기존의 드라이 에치 (dry etch) 와 스트립 (strip) 을 포함한 비표준 개발 프로세스와 습식 스트립 (strip) 개발을 수행하여 광범위한 재료를 수용 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 작전의 화학 농도 영역에서 최고 균일 성을 제공 할 수 있으며, 전체 웨이퍼 (wafer) 에 걸쳐 노출의 균일 성을 포함하여 뛰어난 저항 필름 품질 (excellent resist film quality) 을 제공 할 수 있습니다. 마지막으로, C225는 운영자의 안전을 보장하기 위해 향상된 전기 안전 (Electrical Safety) 및 폐기물 처리 (Waste Handling) 와 같은 다양한 안전 기능을 제공합니다. 또한, 이 장비에는 안전 환경 내에서 작업을 허용하는 안전 연동 장치 (Safety Interlock Device) 및 시스템 진단 (System Diagnostics) 이 포함됩니다. 전반적으로, C225는 고도로 정밀하고 일관된 집적 회로 개발 및 코팅을 위해 설계된 고기능, 기술적으로 고급 포토레지스트 (photoresist) 장치입니다. 이 기계의 직관적이고 구성 가능한 소프트웨어 플랫폼과 다양한 안전 기능 (Safety Feature) 은 품질 결과와 운영자 안전을 모두 보장합니다.
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