판매용 중고 SITE SERVICES Tractrix XP #9194176

SITE SERVICES Tractrix XP는 반도체 제작 (Semiconductor Fabrication) 시설에 혁신적이고 비용 효율적인 노출 솔루션을 제공하기 위해 설계된 고급 자동 포토리스 (photoresist) 장비입니다. Tractrix XP는 높은 수준의 정확성, 반복성, 프로세스 효율성을 제공하여 운영 비용을 절감합니다. 시스템은 기판 처리 모듈과 노출 모듈로 구성됩니다. 기판 처리 모듈은 극도로 정밀하게 기판을 침입 할 수 있도록 설계되었습니다. 최첨단, 기계적으로 견고한 모듈은 두 개의 고속 스테이지를 갖추고 있으며, XY 변환, 회전, 선형 또는 피벗 웨이퍼 정렬 동작을 수행할 수 있습니다. 이 모듈은 최대 0.001 도의 정확도 수준과 최대 0.01 도의 반복 성을 보장하여 포토 리토 그래피 (photolithography) 프로세스에 대한 포토 마스크 정밀 정렬 및 등록을 가능하게합니다. 노출 모듈은 자외선을 기판에 적용하기위한 포괄적 인 조사 소스입니다. 이 장치는 벨 모양의 통합 챔버 (integration chamber) 를 특징으로하여 렌즈 왜곡을 더욱 줄여 더 나은 정확성과 반복 성을 제공합니다. 고급 미러 및 반사기가 장착 된 SITE SERVICES Tractrix XP는 기판에 정확한 양의 UV 방사선을 제공합니다. 소스는 조정이 가능하며, 특정 프로세스 요구사항을 충족하기 위해 필요한 수준의 해상도 (resolution) 와 강도 (intensity) 로 설정할 수 있습니다. Tractrix XP에는 환경 제어 기계, 스프레이 냉각 도구, 안전 센서, 교정 자산 등 다양한 장점이 있습니다. 이 모델은 또한 다른 여러 자동화 시스템 (automated system) 과 호환되도록 설계되어 다양성을 더욱 확장합니다. 결론적으로 SITE SERVICES Tractrix XP는 최첨단 포토리토그래피 기능을 제공하여 비용 효율적이고 정확한 포토리스토그래픽 프로세스를 지원합니다. 다른 시스템과의 높은 수준의 정확성, 반복성, 호환성을 통해 모든 Semiconductor Fabrication 설비에 적합합니다.