판매용 중고 SHINCRON RAS-1100C #293807624

ID: 293807624
빈티지: 2009
Sputtering system 2009 vintage.
SHINCRON RAS-1100C (SHINCRON RAS-1100C) 는 다양한 기판에서 포토 esist를 개발하도록 설계된 고성능 가벼운 노출 장비입니다. 이 "시스템 '은 복합적 인" 포토레지스트' 무늬 를 정확 하고 효율적 으로 노출 시킬 수 있는 여러 가지 기능 을 갖추고 있다. RAS-1100C는 1 차원 및 2 차원 스캐닝 위치를 모두 가능한 355 nm UV 레이저로 구동됩니다. 이 장치는 디지털 선형 인코더 (Linear Encoder) 덕분에 해상도가 우수하여, 매우 정밀한 작업에 적합합니다. 또한, 강력한 레이저는 +/- 2 마일의 라인 너비 변형으로 최대 200 밀의 폭을 노출 할 수 있습니다. 또한 SHINCRON RAS-1100C의 통합 비전 머신은 복잡한 패턴을 정확하게 복제합니다. RAS-1100C는 가벼운 노출 중에 기판 물질이 지나치게 노출되고 왜곡되지 않도록 설계되었습니다. 이 도구는 조정 가능한 셔터 길이 (shutter length) 를 사용하여 노출 시간을 제어하고 빛 노출로 인한 왜곡을 최소화하는 효과적인 라이트 셔터 에셋을 갖추고 있습니다. 또한 SHINCRON RAS-1100C의 통합 웨이퍼 처리 모델은 교차 오염 없이 최대 6 개의 25mm 직경 웨이퍼를 동시에 이동할 수 있습니다. 이 장비는 자동 로드 (auto loading) 및 언로드 (unloading) 기능을 제거하여 낮은 볼륨 노출에도 사용할 수 있습니다. 또한 이 시스템은 설치 및 작동이 간단합니다. 사용자 친화적 인 콘솔이 있으며, 기능을 이해하려면 최소한의 교육이 필요합니다. 또한 콘솔 (Console) 에는 향후 참조를 위해 프로그래밍 및 저장할 수 있는 다양한 매개변수가 표시됩니다. RAS-1100C 장치의 유지 보수 및 복구를 돕기 위해 SHINCRON은 다양한 지원 옵션을 제공합니다. 지역 및 국제 수리 서비스, 부품 교체 및 기술 조언을 제공합니다. 또한 시스템 설정 및 작동 방법에 대한 자세한 내용은 온라인 사용자 설명서 (Online User Manual) 를 참조하십시오. 전반적으로 SHINCRON RAS-1100C는 다른 기판에서 포토 esist를 개발하기위한 안정적이고 효율적인 도구입니다. 방향성 셔터 에셋 (shutter asset) 과 웨이퍼 처리 (wafer handling) 기능을 통해 복잡한 포토리스트 패턴을 정확하게 개발하고 노출 할 수 있습니다. 따라서 이 모델은 프로젝트를 위해 정확하고 왜곡되지 않은 광 (light) 노출이 필요한 사람들에게 이상적입니다.
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