판매용 중고 SHINCRON RAS-1100BD #9215777

SHINCRON RAS-1100BD는 대형 플랫 기판을 빠르고 정확하게 코팅하도록 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 기판에서 초저 왜곡 코팅이 가능한 고정밀 선형 스테이지 유닛을 사용합니다. 기계는 기판의 서피스 곡률 (surface curvature) 을 자동으로 감지하고 영역 위에 필름 두께를 변조합니다. RAS-1100BD에는 고급 쿼츠 차단 HNA (High-Numerical-aperture) 투영 도구가 장착되어 있어 가벼운 초점 각도를 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 자산에는 고속 이동 중에도 코팅의 정밀도를 유지할 수있는 초고속 (ultra-high-speed) 모션 보상 모델이 있습니다. 그 장비 에는 또한, 먼지 와 먼지 가 "시스템 '에 들어오지 못하게 막는, 포토레시스트 실수 를 위한 챔버 가 들어 있다. 약실 에는 먼지 조절 장치 가 있어서, 긴 노출 이 있어도, 입자 가 기계 에 들어가지 못하게 한다. 정확한 코팅 결과를 얻기 위해 SHINCRON RAS-1100BD 는 기판의 위치, 모션 변경, 실제 코팅 결과를 기록하는 데이터 로깅 툴을 제공합니다. 이 자산에는 피크 전압 (Peak Voltage) 및 두께 제어 (Thickness Control) 를 포함한 여러 가지 내장 안전 기능이 포함되어 있으므로 프로세스가 정확하고 안전하게 수행됩니다. 안정적이고 일관된 결과를 얻기 위해 RAS-1100BD는 고유한 필름 장력 감지 및 제어 모델을 사용합니다. 이 장비 는 원하는 "필름 '의 긴장 을 전자 로 설정 한 다음, 저항력 이 가중 될 때 필름 의 긴장 을 감시 한다. SHINCRON RAS-1100BD는 넓은 지역 코팅에도 사용할 수 있습니다. "프로그램 '할 수 있는 디스펜서 는" 코우팅' 크기 가 다양 할 때 에도 전체 기판 에 균일 한 "코우팅 '을 한다. 이 시스템에는 프로그래밍 가능한 사전 설정 코팅 무게 및 장력 설정도 있습니다. RAS-1100BD (Advanced Photoresist Unit) 는 모든 환경에서 정확하고 신뢰할 수 있는 코팅을 제공하도록 설계된 고급 포토레시스트 장치입니다. 고급 기능 (advanced features) 과 견고한 프로그래밍을 통해 기계를 사용하여 대형 플랫 기판을 빠르고 정확하게 코팅할 수 있습니다. 이 도구는 견고한 공차 (Tolerance) 와 일관된 결과를 필요로 하는 고정밀 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.