판매용 중고 SHANGHAI CENTURY SC2645 #9269006

상하이 센추리 SC2645 (SHANGHAI CENTURY SC2645) 는 반도체 제작에서 고급 포토 리토 그래피 기반 프로세스를 위해 설계된 최첨단 포토 esist 코팅 및 노출 장비입니다. 습식 및 건식 에칭 기반 프로세스에 적합하며 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. SC2645 photoresist 시스템은 여러 가지 다른 구성 요소로 구성됩니다. 이 장치의 핵심은 습식 스프레이 코터와 모세관 (capillary) 으로 구성됩니다. 코터는 스테인리스 스틸 하우징, 스프레이 건, 웨이퍼 스테이지 틸트 메커니즘으로 구성됩니다. 스프레이 건 (spray gun) 에는 각도 및 표적 스프레이 입자 증착에 맞게 조정 가능한 조정 가능한 노즐이 있습니다. 모세혈관은 스프레이 건에 일관된, 통제 된 포토 esist 물질 흐름을 제공합니다. 이 기계에는 또한 2 개의 리소그래피 노출 장치 (접촉 및 근접 노출 모두 처리) 가 포함되어 있습니다. 이 노출 장치에는 매우 정밀하고 정확하게 패턴을 생성 할 수있는 레이저 빔 스캐너 (laser-beam scanner) 가 장착되어 있습니다. 스캐너는 광도, 초점, 정렬 각도, 노출 시간, 빔 길이를 조정하여 최적화된 노출을 생성할 수 있습니다. SHANGHAI CENTURY SC2645 도구의 건조 스테이션은 적외선 온도계와 고용량 팬이 장착 된 고속 핫플레이트 오븐입니다. "오븐 '은 섭씨 90 도 내지 330도 의 온도 로 설정 될 수 있으며, 건조 기간 은 조정 가능 한" 타이머' 로 조절 된다. 이를 통해 웨이퍼가 균일하게 노출되고 건조되며 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 포토리스 스트 코팅 과정을 마치기 위해, SC2645 자산에는 부착 된 여과 펌프 모델이 장착 된 화학 개발 챔버 (chemical development chamber) 가 있습니다. 약실 은 압력 을 받아 섭씨 200 도 까지 가열 되어 발달 을 가속화 시킬 수 있다. 여과 펌프 (filtration pump) 는 저품질 작업이 프로세스에 들어가지 않도록 보장하여 품질 제어를 향상시킵니다. 전체 장비에는 필터 장치, 진공 펌프 및 냉각 시스템도 포함됩니다. 이러한 모든 구성 요소는 일관성 있고 비용 효율적인 사진 (photolithography) 프로세스를 제공하도록 설계되었으며, 이를 통해 고급 반도체 제작을 위한 고품질 결과를 지속적으로 얻을 수 있습니다.