판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH 4300 #293662196

ID: 293662196
빈티지: 2006
Spin processor Filter fan unit CO2 Gas supply Robot 2006 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 4300은 반도체 웨이퍼에 서브미크론 패턴을 만들도록 특별히 설계된 포토 esist 장비입니다. 광전술로 시작하는 2 단계 프로세스로, 얇은 광전자 층으로 덮인 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 빛을 집중시킵니다. 이 프로세스는 표면에 노출 된 영역의 패턴을 생성하며, 이 영역을 개발하여 웨이퍼 (wafer) 기판에 에칭할 수 있습니다. PEB (Post Exposure Bake) 로 알려진이 과정의 두 번째 단계는 열을 사용하여 웨이퍼에 영구 패턴을 쉽게 형성하는 것입니다. 세즈 4300 (SEZ 4300) 은 반도체 웨이퍼 (Wafer) 에 포토 esist가 정확하게 노출되도록 고급 옵티컬 유닛을 갖춘 완전 자동화 시스템이다. 사진 해설에 대한 고해상도 레티클을 사용하여 회로 요소의 매우 정확한 패턴화를 보장합니다. 또한 개발 된 저항 (resist) 패턴의 표면 대비를 개선하기 위해 산소 섭취를 최소화하는 독특한 통풍기가 특징입니다. LAM RESEARCH 4300은 마스크 제작, 광전자 장치, 마이크로 일렉트로닉스 프로세싱과 같은 고정밀 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 포토리스 (photoresist), 개발 (development) 및 에칭 (etching) 프로세스 동안 일관된 웨이퍼 균일성을 보장하기 위해 최신 기술 및 통계 프로세스 제어를 갖추고 있습니다. 또한 사용자 친화적 인터페이스를 통해 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. 4300은 반도체 제작에 사용하도록 설계된 강력한 포토 esist 도구입니다. 고정밀도 패턴화, 전개된 저항 패턴 (resist pattern) 의 뛰어난 표면 대비, 손쉬운 작동을 위한 단순화된 사용자 인터페이스 등을 제공합니다. 이 포토레시스트 (photoresist) 자산은 반도체 제품에 대한 복잡하고 고급 디자인을 만드는 데 필수적인 도구입니다.
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