판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH 4300 #293652063

SEZ/LAM RESEARCH 4300 포토 esist 장비는 반도체 제조 처리에 사용되는 전문 도구입니다. "마스크 '에서 반도체 기판 으로 원하는" 패턴' 을 옮기는 과정 인 "포토리스토그래피 '를 사용 한다. SEZ 4300 장치는 기판에서 포토 esist 코팅을 빠르고 정확하게 생산하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH 4300 기계는 높은 전력 광원과 셔터 노출 단계를 사용합니다. 이 노출 단계는 다양한 LED 다이오드를 사용하여 기판 노출을 차단하고 차단합니다. 이 노출 단계는 15 미크론의 해상도와 +/- 3 미크론의 반복성으로 매우 정확합니다. 노출 단계는 또한 최대 50 마이크로 초의 셔터 속도로 매우 빠르도록 설계되었습니다. 4300 은 최소한의 유지 보수 요건으로 향상되었습니다. 이 도구에는 청소 자산이 내장되어 있으며, 웨이퍼 처리를 위해 진공 척 (vacuum chuck) 을 사용합니다. 이를 통해 수동 청소 단계를 제거하고 오염 가능성을 줄일 수 있습니다. SEZ/LAM RESEARCH 4300 모델에는 전면 장착 스핀 코팅 어셈블리도 있습니다. 어셈블리는 기판에 일관된 균일 한 photoresist 코트를 제공합니다. 스핀 코팅 (spin coating) 어셈블리는 폐기물을 최소화하고 고르지 않은 코팅 두께를 형성하는 것을 방지하여 포토 esist 비용을 낮게 유지합니다. SEZ 4300 장비에는 특정 프로세스와 레시피를 실행하도록 구성할 수 있는 PC 기반 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 LAM RESEARCH 4300 (LAM RESEARCH 4300) 의 정교한 구성 요소와 함께 생산의 반복성과 속도를 증가시켜 고품질 포토레시스트 코트를 제공합니다. 전반적으로, 4300 개의 포토 esist 시스템은 기판에 포토 esist 코팅을 빠르고 정확하게 생성하도록 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 단위입니다. 기계의 빠른 노출 속도 (fast exposure speed) 와 정확한 노출 제어 (exposure control) 는 유지 관리 요구 사항을 최소화하면서 일관되고 반복 가능한 포토리스 패턴 (photoresist pattern) 을 생성합니다. 이를 통해 SEZ/LAM RESEARCH 4300은 반도체 생산에 귀중한 도구입니다.