판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH 4300 #293598011

SEZ/LAM RESEARCH 4300은 석판 공정에서 반도체 제조업체를 돕기 위해 설계된 포토 esist 억제제 장비입니다. 그것 은 리소그래피 공정 에 사용 되는 "포토레지스트 '를 식별 하고 정확 하게 복용 하는 데 사용 되는 고정밀 장비 이다. SEZ 4300 은 특허를 획득한 알고리즘 기반 프로세스 제어를 사용하여 하나의 통합 유닛에서 photoresist 를 스캔, 식별, 정확하게 복용합니다. 기존 리소그래피 시스템 워크플로우에 쉽게 통합할 수 있습니다. LAM RESEARCH 4300 장치는 DUV (Deep Ultra Violet) 에서 EB (Electron Beam) 에 이르기까지 다양한 포토 esist 응용 프로그램을 허용합니다. 광원, photoresist applicator, 기판 테이블, 컨트롤러 모듈 등 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. 광원은 전체 기판에 걸친 안정적이고 균일 한 광선 이미지를 제공하여 균일 한 광사 (photoresist) 분포를 제공합니다. 포토 esist 신청자는 디스펜스 밸브 (dispense valve), 디스펜스 노즐 (dispense nozzles) 및 포토 esist 디스펜스 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 디스펜스 헤드 (dispense head) 로 구성됩니다. 기판 "테이블 '은 광원 에 노출 되기 전 에 기판 을 지지 한다. 이 기계는 정확하고 신뢰할 수있는 포토레스 (photoresist) 응용 프로그램을 제공하는 것 외에도 다른 유익한 특징을 가지고 있습니다. 기판 표면의 불규칙성을 감지할 수있는 온보드 비전 (onboard vision) 도구가 있으므로 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 자동 기판 인식 에셋은 노출되기 전에 기판 치수와 패턴을 빠르게 식별 할 수 있습니다. 온보드 데이터 로깅 모델은 프로세스에 대한 광범위한 데이터 및 통계 분석을 제공합니다. 4300 (4300) 은 제조업체가 리소그래피 프로세스에서 더 큰 제어 및 유연성을 제공하도록 설계된 최첨단 포토레시스트 억제제 장비입니다. 반도체 제조업체의 경우 포토레시스트 (photoresist) 소비를 대폭 줄이고 수익률을 높여 효율성을 높이고 비용을 절감할 수 있다.