판매용 중고 SEMIX TR 6132U #293619553

SEMIX TR 6132U
제조사
SEMIX
모델
TR 6132U
ID: 293619553
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1999
SOG Coater, 6" 1999 vintage.
SEMIX TR 6132U는 고급 사진 촬영 모음에 사용하도록 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 광범위한 FAB 및 IC 프로세싱 애플리케이션을 위한 표적/폭넓은 노출 기능을 제공합니다. TR 6132U는 254nm 머큐리 쇼트 아크 (Mercury Short Arc) 램프를 사용하며, 이는 다양한 파장에 걸쳐 높은 강도의 조명을 제공하도록 설계되었습니다. 이를 통해 다양한 포토리스 스트 처리량 레벨의 정밀 조정이 가능합니다. 이 시스템은 또한 전용 폐쇄 루프 (closed-loop) 포커싱 유닛을 갖추고 있으며, 각 기판에 대해 최적으로 초점을 맞춘 광 빔을 설정할 수 있습니다. 또한, 기계에는 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 가 장착되어 다양한 포토리스 (photoresist) 노출 레시피를 실행하도록 빠르고 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다. 추가 프로그래밍 가능한 제어를 위해 PC에 연결 할 수도 있습니다. 또한, SEMIX TR 6132U 는 제어판 (Control Panel) 에 내장된 대규모의 안전 기능을 포함하고 있어 과잉 노출, 전기 충격 (Electrical Shock) 또는 기타 위험 조건의 위험 요소를 최소화하여 작업 전에 해결합니다. 이 도구는 또한 정확한 단계 (step) 및 반복 (repeat) 작업을 수행할 수 있으므로 광범위한 작업 필드 크기 내에서 정확한 정확성을 얻을 수 있습니다. 또한 다른 해상도에서 여러 층의 photoresist를 노출 할 수 있습니다. 마지막으로 TR 6132U는 설치, 유지 관리 및 작동이 용이하도록 설계되었습니다. 견고한 스테퍼 모터 드라이브 (stepper motor drive) 자산과 세라믹 난방 요소가 장착되어 있어 수명이 길다. 이 모델은 또한 추가 안전 조치 없이 클래스 1 및 클래스 2 안전 환경에서 모두 작동하도록 설계되었습니다. 결론적으로 SEMIX TR 6132U는 FAB 및 IC 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 견고하고, 신뢰성 있고, 고성능 포토 esist 장비입니다. 고해상도 (High Resolution), 고급 노출 기능 및 다양한 안전 기능을 제공하여 안심할 수 있습니다.
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