판매용 중고 SEMIX / TOK TS7171D-H #9252318

SEMIX / TOK TS7171D-H
ID: 9252318
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1994
Coater / Developer system, 6" 1994 vintage.
SEMIX/TOK TS7171D-H Photoresist Equipment는 높은 처리량, 반복 가능한 결과의 뛰어난 표준, 전반적인 우수한 성능을 갖춘 고급 포토리스 시스템입니다. 이 장치는 하드 마스크 에칭, 습하고 건조한 개발, 두꺼운 필름 리프트 오프 (thick film liftoff) 및 고급 리소그래피 응용 프로그램 (advanced lithography application) 과 같은 고급 프로세스에 적합합니다. 이 기계는 포토리스 (photoresist) 프로세스를 최적화하고 처리량을 극대화하도록 설계된 인상적인 기능 세트를 자랑합니다. 이 도구 의 핵심 은 강력 한 "스캐너 '로서 큰" 웨이퍼' 를 쉽게 처리 할 수 있다. 에셋에는 열 안정화 오븐, 내장 팬, 고급 공기 여과 모델 (Advanced Air Filtration Model) 이 포함되어 있어 장비의 모든 영역에 최적화된 공기 흐름이 가능합니다. 이것은 깨끗하고 입자가 없는 결과를 제공하고 높은 수율을 보장하는 데 도움이됩니다. TOK TS7171D-H Photoresist System에는 직관적이고 사용자에게 친숙한 터치 인터페이스 제어판도 있습니다. 이 기능에는 오버레이 공차 제어, 노출 증가, 스캔 속도, 온도 공차, 열 균일성 등이 포함됩니다. 이 장치에는 특허 받은 교차 스캔 (cross-scan) 기술도 포함되어 있는데, 이는 스캔 속도를 크게 높이고 잘못된 정렬을 제거합니다. 터치 제어판 (Touch Control Panel) 은 사용자 친화적이며 사용자에게 현재 프로세스를 간편하게 모니터링하고 조정할 수 있는 방법을 제공합니다. 이 기계에는 중앙 집중식 연동 도구, 과열 경보, 푸메 후드 상태 모니터링, 비디오 모니터링 및 긴급 차단 시스템 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 이를 통해 운영자의 안전한 작업 환경과 SEMIX TS7171D-H PhotoresistAsset의 최적의 성능을 보장합니다. TS7171D-H Photoresist Model은 높은 처리량, 반복 가능한 결과, 최적의 프로세스 제어 및 최적화, 탁월한 안전 표준이 필요한 어플리케이션에 적합합니다. 이 장비에는 고급 모니터링 (Advanced Monitoring) 및 진단 시스템 (Diagnostic System) 이 장착되어 있어 문제가 심각해지기 전에 문제를 감지할 수 있으므로 비용이 많이 드는 다운타임을 방지할 수 있습니다.
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