판매용 중고 SEMIX / TOK TR 8171UD #131515
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ID: 131515
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
Spin on Glass deposition system, 8"
Parts system
(10) circuit boards
Part number: 900140062
ER 81078 V.1.01
(1/2) (2/2)
TAZMO
Options:
Temperature & humidity (coat unit)
Solvent system with remote cabinet
Exhaust, fume bake plates
Post Bake Station
3 light status pole
SECS II software
De-installed 2001
Currently de-installed
1999 vintage.
SEMSIXSEMIX/TOK TR 8171UD는 다양한 고급 석판 촬영 작업을 위해 설계된 고성능 포토 esist 장비입니다. 이 시스템에는 완전 자동화 된 고해상도 이미징 장치 (고해상도) 와 풀 사이즈 노출 프로세서 (full-size exposure processor) 가 포함되어 있습니다. 첨단 포토레시스트 머신 (photoresist machine) 은 정교한 이미지 노출 제어 도구와 노출 처리 기능으로 인해 서브 미크론 해상도를 달성 할 수 있습니다. 자동 제어 자산 및 대규모 정보 용량과 함께 SEMSIXTOK TR 8171UD는 탁월한 정확성과 반복 성을 제공 할 수 있습니다. SEMSIXSEMIX TR 8171UD에는 노출 시스템을위한 마이크로 테퍼 모터 드라이브 (Microstepper Motor Drive) 와 이미징 용 렌즈 (Lens for Imaging) 가 제공되어 0.5 ~ 10 µm 범위의 광범위한 노출 정확도를 지원할 수 있습니다. 마이크로스테퍼 모터 드라이브 (microstepper motor drive) 는 정확한 속도와 가속 제어가 가능하며, 빠른 속도와 정확성이 필요한 석판화가에게 적합합니다. 또한, 이 모델은 다양한 이미징 열 (Imaging Column) 을 선택할 수 있습니다. 이 열은 최고의 해상도를 얻을 수 있도록 장비에 이미지 품질 조정 도구 (Image Quality Adjustment Tools) 를 제공합니다. 뿐 만 아니라, 이 "시스템 '은 가장 널리 사용 되는 많은 광전사" 타입' 과 호환성 을 제공 하여 유리, "실리콘 '및 산화" 실리콘' 등 의 광범위 한 기판 에 사용 할 수 있게 해 준다. SEMSIXTR 8171UD 는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 갖추고 있어 사용자 환경을 단순화하며, 단위의 기능을 쉽고 빠르게 액세스하고 제어할 수 있습니다. 또한, 기계는 이미지, 필름 (film), 기판 데이터를 저장할 수있는 다중 보정 기능과 내부 메모리 스토어를 가지고 있으므로 이미징, 노출, 처리 절차를 최적화할 수 있습니다. 궁극적으로 SEMSIXSEMIX/TOK TR 8171UD는 신뢰성 있고 다용도 포토 리스트 (photoresist) 툴로서 뛰어난 정확도, 해상도 및 반복 가능성을 갖춘 고급 리소그래피 솔루션을 제공합니다. 이 자산은 효율성이 높고 생산성이 높으며 반도체 제작 (semiconductor fabrication) 과 관련된 제품 출시 시간과 비용을 절감하는 데 도움이 됩니다.
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