판매용 중고 SEMIX / TOK TR 6132UD #9085096

세믹스/톡 TR 6132UD (SEMIX/TOK TR 6132UD) 는 반도체 또는 기타 마이크로 일렉트로닉 부품을위한 기판을 포함하여 다양한 재료에 정확한 박막 패턴화 및 코팅을 제공하도록 설계된 사진 저항 장비입니다. 이 시스템은 반도체 장치 처리, MEMS 구성, EMI 차폐 (shielding) 와 같은 미세 선 너비 해상도가 필요한 응용 분야에 적합합니다. 이 장치는 광원, 광학, 스테이지 컨트롤 및 photoresist 프로세스의 통합 기계를 사용합니다. 풀 웨이퍼 스와스 (full wafer swath) 에 균일 한 조명 확산 광원을 제공하는 LED 광원은 단파장 (short wavength) 과 장파장 (long wavelength) 구성 요소를 동시에 생산하여 광범위한 포토 esist를 노출 할 수 있습니다. +/- 5 미크론 해상도와 관련된 높은 수치 목표는 10 미크론 이하의 매우 높은 해상도의 이미징을 제공합니다. 스테이지 컨트롤 도구 (Stage Control Tool) 는 웨이퍼 테이블의 위치와 속도를 모니터링하여 프로세스의 각 노출 단계에서 와퍼를 정확하고 반복적으로 포지셔닝할 수 있습니다. 에셋은 또한 포토 esist의 정확한 노출 수준을 보장하기 위해 온도 조절 (temperature-controlled) 되어 전체 웨이퍼에 걸쳐 정확한 패턴화 및 균일 한 필름 두께를 가능하게합니다. 이 모델은 0 ~ 4000 RPM의 속도 범위의 정밀 웨이퍼 스핀 (precision wafer spin) 프로세스를 사용하여 전체 웨이퍼에 걸쳐 포토 esist의 균일 한 확산을 허용합니다. 결과적인 박막 (Thin Film) 패턴 품질은 우수하며 작은 패턴을 인식하기 위한 탁월한 프로세스 기능을 갖추고 있습니다. 마지막으로, 장비에는 각 프로세스 (process) 단계의 노출 매개변수를 모니터링하고 기록하여 프로세스 기록 (process history) 을 추적할 수 있는 정교한 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 전반적으로 TOK TR 6132UD (TOK TR 6132UD) 는 정확한 패턴화 기능을 갖춘 신뢰성이 높은 시스템을 제공하여 다양한 재료에 일관되고 정확한 박막 코팅을 만들 수 있습니다. 내장형 LED 광원, 고해상도 광학, 스테이지 컨트롤, 웨이퍼 스핀을 갖춘 이 장치는 최고 품질의 패턴화와 까다로운 박막 마이크로일렉트로닉스 (Thin Film Microelectronics) 어플리케이션을 위한 최상의 프로세스 제어를 제공합니다.