판매용 중고 SEMIX / TOK / TAZMO SOG #9097200

SEMIX/TOK/TAZMO SOG는 Asahi Glass Co.에서 개발 한 전문 포토 esist 시스템입니다. Ltd. 그것 은 여러 가지 전자 및 "반도체 '장치 의 제조 공정 에서 극한" 라인' 무늬 를 만드는 데 사용 된다. 이 시스템은 3 개의 핵심 구성 요소 (4 개의 위치 유형 노출 장치, 미세 노출 제어를위한 해결사 및 후처리 도구) 로 구성됩니다. 4 개의 위치 유형 노출 장치는 노출 된 각 영역에 대한 노출 시간, 초점, 강도를 최적화하도록 설계되었습니다. 그것 은 0.75 "미터 '의 미세 한 선" 패터닝' 폭 까지 광범위 한 저항 물질 에 노출 될 수 있다. 최대한의 노출 제어 정확성과 반복성을 위해 최적화된 광 모델 (optical model) 을 활용합니다. 이를 통해 해상도 개선 및 재현 가능한 패턴 매개변수가 가능합니다. 후처리 도구는 선 패턴 매개변수 (line patterning parameters) 를 설정하고 노출 시간을 조정하여 선 패턴을 미세하게 조정하고 해상도를 저항하는 데 사용됩니다. 토크 수그 (TOK SOG) 시스템은 미세한 선 패턴화와 더 높은 해상도를 달성하기 위해 처리 시간이 짧다는 점에서, 전통적인 포토 리토 그래피 시스템과 다르다. 얇은 저항과 초미세 선 패턴 해상도를 통해 패턴 밀도 및 설계 유연성이 향상됩니다. 향상된 해상도 및 반복성은 또한 더 나은 패턴 정확도와 향상된 수율을 가능하게합니다. SEMIX SOG는 인쇄 회로 기판, 반도체 생산, 의료 기기 생산 및 기타 초미세 라인 패턴 응용 프로그램과 같은 응용 분야에 이상적입니다. 생산시간을 줄이고 생산공정의 수율을 늘리고자 하는 분들에겐 '해상도 (resolution)' 와 '효율성 (efficiency)' 이 매력적으로 선택된다.