판매용 중고 SEMIX / TAZMO TR 8152 #9277677
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ID: 9277677
웨이퍼 크기: 6"
System, 6"
Process: SOG Deposition
Chemical: SOG, IPA
Coat module
Robot
(6) Hard bakes
Canister IPA
Condizioner
Computer / Display.
SEMIX/TAZMO TR 8152 Photoresist Equipment (Photoresist Equipment) 는 실리콘 웨이퍼 생산에서 가장 복잡한 에칭 및 리소그래피 요구를 처리하도록 설계된 신뢰할 수 있고 다양한 도구입니다. 이 시스템은 자동화된 고정밀 (high-precision) 공정을 통해 다양한 기능과 기능을 제공하여 전자 산업을 위한 최첨단 반도체 장치 (CCTV) 의 생성을 보장합니다. 이 장치에는 자동화된 프로세스 컨트롤러와 결합된 광 구성 요소가 포함되어 있습니다. 광학 단계에는 LED 광원, 광섬유 번들 조명, 풀 프레임 CCD 카메라 및 석판 마스크 처리 기계가 포함됩니다. 자동화된 프로세스 컨트롤러는 작업 중 공구 매개변수를 모니터링, 조정, 제어하여 에칭 및 리소그래피 프로세스를 최적화합니다. 이 자산에는 강력한 사용자 친화적 인터페이스 프로그램 (user-friendly interface program) 이 포함되어 있어 레시피를 저장하고 모든 유형의 재료 구조에 대한 에칭 (etching) 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 따라서 고객의 요구 사항에 따라 모델을 쉽게 설치, 운영할 수 있습니다. SEMIX TR 8152 Photoresist Equipment는 또한 분산을 식별하고 보상 할 수있는 통합 비전 시스템을 갖추고 있으며, 정밀도가 높은 결과를 제공합니다. 또한, 수직 및 수평 방향으로 스핀 코팅 포토 리스트 (spin-coat photoresist) 를 스핀 코팅 할 수있는 고속 스핀 코터가 포함되어 있으며, 기판에서 포토 리스트 (photoresist) 의 정확한 증착과 포토 리스트의 균일성 및 두께를 제어 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 저온 플라즈마 에칭 머신 (plasma etching machine) 을 제공하여 일관성과 신뢰할 수있는 결과로 웨이퍼를 균일하게 가져옵니다. TAZMO TR8152 Photoresist Tool (Photoresist Tool) 은 다양한 고급 프로세스 제어 기능을 제공하여 최고 수준의 결과와 안전하고 안정적인 운영을 보장합니다. 이 자산은 문제가없는 운영을 위해 설계 및 검증되었으며, 오염 및 기타 위험 상태로부터 보호하기 위해 여러 환경 보호 (Environmental Safeguard) 를 갖추고 있습니다. SEMIX/TAZMO TR8152 Photoresist Model (Photoresist Model) 은 생산 프로세스에서 최고 수준의 품질과 정밀도를 찾는 기업에 이상적인 솔루션입니다. 고정밀도 사진 촬영 및 에칭 (etching) 프로세스의 안정적인 소스를 제공할 뿐만 아니라, 고급 기능으로 인해 응용 프로그램에 매우 구체적이고 복잡한 재료가 필요한 고객에게 적합합니다 (영문). 생산된 결과는 품질이 가장 우수하며, 특정 고객 요구에 맞게 쉽게 최적화할 수 있습니다.
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