판매용 중고 SEMIX / TAZMO SOG Track System #293616842
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SEMIX/TAZMO SOG 트랙 장비 (SEMIX/TAZMO SOG Track Equipment) 는 반도체 및 기타 장치 제조업체에 회로 구조를 만드는 비용 효율적인 솔루션을 제공하도록 설계된 혁신적인 포토리스 시스템입니다. 이 장치 는 어떤 모양 이나 크기 의 "패턴 '을 형성 하는 데 사용 될 수 있으며, 두께 가 균일 한" 포토레지스트' 층 을 신속 히 생산 하는 능력 때문 에 그 결과 의 구조 를 정확 히 제어 할 수 있다. 기계는 SOG (spin-on glass) 트랙을 사용하여 photoresist 레이어를 생성하고, 이를 photomask에 노출시켜 원하는 패턴을 만듭니다. "트랙 '은 주거지 내 에 회전 할 수 있는 기판 층 으로 구성 되어 있는데, 이 층 은 고속 으로 회전 하는 동안" 기판' 을 제자리 에 두고 있다. 이것 은 전체 표면 이 동일 한 양 의 스핀 레이트 (spin rate) 에 노출 됨 에 따라 균일 한 유리 증착 (glass deposition) 을 보장 해 주며, 이것 은 층 의 왜곡 이나 오염 을 방지 한다. 그런 다음, 기판 "레이어 '의 두께 를 조절 하기 위하여 기판" 레이어' 를 전진 시키거나 뒤 로 긴장 시킬 수 있으며, 더 정확 한 "컨트롤 '을 위하여 온도 를 변화 시키기 위하여 가열" 요소' 를 사용 할 수 도 있다. SEMIX SOG 트랙 도구에 사용되는 photomask는 여러 레이어로 구성됩니다. 위 층 들 은 미세 한 금속 "패턴 '으로 구성 되어 있으며, 아래 층 들 은" 왁스 폴리머' 로 구성 되어 있는데, 그것 은 어떤 노출 광선 의 방해 를 막도록 설계 되었다. 그런 다음, 노출광 이 "마스크 '를 통과 하여 퇴적 된 광소시스트' 층 으로 옮겨져 원하는" 패턴 '작업 을 수행 하게 된다. TAZMO SOG Track Asset 은 사용자 정의 및 효율성이 뛰어나 최종 사용자에게 유연성을 제공합니다. 회전 속도, 레이어 두께, 가열 요소 (heating element) 의 온도를 제어함으로써, 사용자는 각기 다른 장치 응용 프로그램에 대해 다양한 복잡한 구조를 만들 수 있습니다. 또한, 이 트랙은 청소하기 쉽고, 재사용이 가능하므로 비용 효율적이고 효율적입니다. 전반적으로 SOG 트랙 모델 (SOG Track Model) 은 반도체 및 기타 장치 제조업체를 위한 효율적인 솔루션으로, 복잡한 구조를 만드는 데 안정적이고 비용 효율적인 방법을 제공합니다. 즉, 결과 포토레시스트 (photoresist) 레이어를 유연하고 제어할 수 있으므로 모든 응용 프로그램에 대해 모든 형태 또는 크기의 패턴을 생성할 수 있습니다.
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