판매용 중고 SEMITOOL WST-506MG #9265376
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SEMITOOL WST-506MG 포토 esist 장비는 정밀 코팅 응용 프로그램에서 포토 esist 레이어를 기판에 배치하는 데 사용되는 안정적이고, 효율적이며, 비용 효율적인 스핀 코터입니다. WST-506MG에는 Langmuir-Blodgett 마이크로 미터 (micro-meter) 와 정확한 기판 스핀 코팅 요구를위한 회전 스테이션이 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 코팅 속도를 정확하고 반복적으로 제어하는 내장 3 단계 컨트롤러도 있습니다. 이 장치에는 쉽고 안전한 웨이퍼 핸들링 (wafer-handling), 듀얼 스피드 기어 박스 (dual-speed gearbox) 및 넓은 직경의 범위를위한 웨이퍼 (wafer) 파악과 같은 표준 기능이 포함되어 있으며, 소형 기판에서 대형 기판의 정확한 코팅이 가능합니다. 기판 로더는 회전하기 전에 기판에서 저항을 수동으로 분배하는 데 사용되며, 고속, 균일 한 코팅을 허용합니다. 모터는 브러시리스 (brushless) DC 모터이며, 베어링은 높은 토크 축 추력 베어링으로 장착되어 있으며, 일관된 정확도로 부드럽고 꾸준한 작동을 보장합니다. 이 기계는 또한 사용자가 다양한 코팅 프로파일 (coting profile), 저장 프로파일 (store profiles) 을 선택하고 효율적인 주기 시간을 위해 도구를 프로그래밍 할 수있는 정밀 소프트웨어 제품군을 갖추고 있습니다. 또한 SEMITOOL WST-506MG에는 여러 가지 안전 기능 (예: 후드가 열리고 비상 정지 버튼이 있으면 자산을 차단하는 연동 회로) 이 있습니다. WST-506MG는 DPL (Double Patterning Lithography) 스핀 코팅, 등각 코팅 및 두꺼운 필름 스핀 코팅과 함께 사용되었습니다. 이 모델은 S1827, S1813, S1805 및 기타 독점 저항과 같은 다양한 저항 재료에서 테스트되었습니다. SEMITOOL의 결과는 다양한 코팅 요구 사항의 정확성과 반복성에 대한 SEMITOOL WST-506MG의 높은 수준의 보증 수준을 보여주었습니다. 전반적으로, WST-506MG 포토 esist 장비는 광범위한 스핀 코팅 응용 분야에 적합한 선택입니다. 엄밀한 안전 프로토콜, 경쟁력 있는 가격, 신뢰할 수있는 정확도 (accuracy rate) 를 통해 코팅 작업을 선택할 수 있습니다.
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