판매용 중고 SEMITOOL WST-406MG #9265375

SEMITOOL WST-406MG
ID: 9265375
웨이퍼 크기: 6"
Wet solvent stripper, 6".
SEMITOOL WST-406MG Photoresist Equipment는 photoresist 프로세스에서 일관되고 안정적이며 정확한 결과를 제공하는 습식 스테이션입니다. 온도와 용액 농도조차 유지하기 위해 최적의 재순환 (recirculation) 기술을 도입하여 빈번한 용액 변경 또는 배수의 필요성을 완화합니다. 이 시스템은 또한 내구성이 뛰어난 406MG 탱크와 덮개 조합으로 구성되어 있으며, 처리 중 기판을 쉽고 안전하게 처리 할 수있는 팁 방지 (anti-tip) 기술을 갖추고 있습니다. 간편한 탐색 (navigate) 메뉴가 포함된 직관적인 터치 패널 인터페이스는 향상된 수율 및 반복성을 위한 정확한 프로세스 매개변수를 제공하면서 안정적인 시스템 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다. 이 장치는 모든 제조 (fabrication) 활동의 요구를 충족하는 습식 (wet) 벤치 기능을 혼합하여 제공합니다. 독자적인 여과를 통해 솔루션 순도 유지, pH 모니터링, 적절한 성능 보장, 간편한 유지 관리를 위한 툴킷 (toolkit) 을 제공합니다. 이 기계에는 또한 스테인레스 스틸 스프레이 린스 스테이션 (Stainless Steel Spray Rinse Station) 이 있으며 탱크 벽 및 부품에서 물 사용량과 화학적 매장량을 청소합니다. 이 CIP (Clean-in-place) 기능은 부식을 예방하고 전체 탱크 수명을 향상시키는 데 도움이됩니다. 이 도구를 통해 사진 저항의 WSD (Uniform Wetted Surface Development) 를 가능하게하여 부품 일관성과 수율을 향상시킵니다. 5 개의 공정 챔버 각각은 제어 된 동요 및 여과를 제공하여 반복 가능하고 일관된 공정 매개변수를 얻습니다. 사용 가능한 기능으로는 온도 모니터링 및 제어 (Temperature monitoring and control), 스프레이 세척 프로파일, 소규모 어셈블리에서 대규모 어셈블리를 위한 다양한 마스킹 시스템이 있습니다. 자산은 또한 큰 기판 또는 컨테이너 가중치를 검출, 관리하여 티핑 (tipping) 과 오버필링 (overfilling) 을 방지할 수 있습니다. 자동 압력 보상이 가능한 깨끗한 공장 밀봉 (factory-sealed) 환경에서 작동하므로 프로세스는 항상 원하는 매개변수 내에 유지됩니다. 이것은 잠재적 인 오염 또는 야외 공기에 노출되는 것을 없애고, 또한 인간의 상호 작용을 줄입니다. SEMITOOL WCT-406MG는 중소형 처리량, 비용 효율적인 포토 esist 작업에 이상적인 기계입니다. 기판 을 안전 하게 취급 하는 한편, 계속 수행 하는 능력 이 있어서, 제조 실험실 의 가치 있는 자산 이 된다. 이 모델은 인건비를 절감하고, 수익률과 제품 품질을 향상시키는 일관된 결과를 제공할 수 있습니다.
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